山东省科学院激光研究所;济南蓝动激光技术有限公司韩丽丽获国家专利权
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龙图腾网获悉山东省科学院激光研究所;济南蓝动激光技术有限公司申请的专利一种分布式反馈激光器及其制备方法、激光芯片获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120432992B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510925793.6,技术领域涉及:H01S5/12;该发明授权一种分布式反馈激光器及其制备方法、激光芯片是由韩丽丽;祁锦云;赵少鹏;李文甫;唐先胜;王兆伟设计研发完成,并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分布式反馈激光器及其制备方法、激光芯片在说明书摘要公布了:本申请涉及激光器制备技术领域,并提供一种分布式反馈激光器及其制备方法、激光芯片。分布式反馈激光器的制备方法包括:提供衬底;在衬底依次生长n型掺杂层、p型单独限制层和p+n+隧道结;刻蚀p+n+隧道结,形成多个光栅;在光栅上依次生长n型包覆层、未掺杂活性层和p型包覆层;分别在衬底和p型包覆层上生长第一电极和第二电极;进行退火处理。该制备方法中,利用刻蚀p+n+隧道结的方法,可以实现低温环境下形成多个间隔分布的光栅,并采用n型包覆层覆盖光栅,形成微电流注入区,该光栅可以实现多种出光方式中图案的排布,实现各方向出光,以满足分布式反馈激光器的不同出光特性的需求。
本发明授权一种分布式反馈激光器及其制备方法、激光芯片在权利要求书中公布了:1.一种分布式反馈激光器的制备方法,其特征在于,包括: 提供衬底; 在所述衬底依次生长n型掺杂层、p型单独限制层和p++隧道结; 刻蚀所述p++隧道结,形成多个光栅;其中,多个所述光栅沿一个方向依次间隔排布;其中,所述多个光栅平行不等长排布,或相邻两个所述光栅的中心轴之间设有夹角; 在所述光栅上依次生长n型包覆层、未掺杂活性层和p型包覆层; 分别在所述衬底和所述p型包覆层上生长第一电极和第二电极; 进行退火处理。
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