买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉法博思(宁波)半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120422205B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510928442.0，技术领域涉及：B25J9/00；该发明授权一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法是由宋金龙;周靖怡;张庆久设计研发完成，并于2025-07-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法，通过设置晶圆对准设备对晶圆进行初始定位；利用包含伸出轴、旋转轴及升降轴的晶圆运输机器人夹取晶圆，并配合位移传感模块对晶圆边缘进行多点检测；通过自动示教控制模块执行多轮速度递减策略，获取晶圆边缘的多个切点信息，采用最小二乘法拟合圆形边界，从而精确计算目标站点位置所对应的旋转轴和伸出轴参数。最终通过人机交互模块输入升降轴参数，完成整个站点的自动示教过程。本发明显著提高了站点参数获取的精度、一致性和效率，适用于多台设备间的一致化部署及设备位移后的快速重定位，提升了晶圆检测和搬运系统的稳定性与智能化水平。

本发明授权一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆搬运机器人自动示教系统，其特征在于，包括： 晶圆对准设备，配置为将晶圆校准至预设位置； 晶圆运输机器人，包含伸出轴、旋转轴及升降轴的运动机构1，末端设有片叉； 位移传感模块2，固定安装于目标站点正上方，其光轴与站点中心垂直线重合，用于检测晶圆边缘通过时引发的光信号阶跃突变； 自动示教控制模块3，连接所述运动机构1和位移传感模块2，包括： 运动控制单元31，用于执行： 操作1，驱动所述晶圆运输机器人将片叉中心移动至与校准后晶圆中心重合； 操作2，控制所述晶圆运输机器人夹取晶圆并移动至所述位移传感模块2探测区外侧； 操作3，以速度递减策略驱动旋转轴运动：首轮以速度运动至触发信号突变，记录此时的参数；退回后以速度同向运动至再次突变，记录此时的参数；迭代直至旋转轴角度收敛于稳定值，输出切点； 操作4，继续同向驱动旋转轴至下一信号突变点，重复速度递减策略获取切点； 操作5，按预设规则改变伸出轴位置，重复操作3到操作4操作n次，生成切点对集合...； 数据处理单元32，连接所述运动控制单元31，用于执行： 操作6，将所述切点对集合中第n组的切点极坐标转换为笛卡尔坐标； 操作7，基于最小二乘法拟合晶圆边缘圆，基于所述笛卡尔坐标计算得到圆心坐标； 操作8，将所述圆心坐标转换为目标站点的旋转轴参数和伸出轴参数； 人机交互模块4，连接所述自动示教控制模块3，用于在所述晶圆运输机器人运动至位置后，接收升降轴参数输入并存储完整站点数据。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人法博思(宁波)半导体设备有限公司，其通讯地址为：315412 浙江省宁波市余姚市三七市镇云山中路28号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。