应用材料公司O·卢尔获国家专利权
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龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN108206148B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201711213957.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极是由O·卢尔;L·多尔夫;R·丁德萨;S·斯里尼瓦杉;D·M·库萨;J·罗杰斯设计研发完成，并于2017-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极在说明书摘要公布了：公开了用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极。本文中描述的实施例大体涉及一种基板处理设备。在一个实施例中，本文中公开了一种用于基板处理腔室的工艺套件。工艺套件包括：第一环，所述第一环具有顶表面和底表面；可调整调谐环，所述可调整调谐环具有顶表面和底表面；以及致动机构。底表面由基板支撑构件支撑。底表面至少部分地延伸到由基板支撑构件支撑的基板下方。可调整调谐环定位在第一环下方。可调整调谐环的顶表面与第一环限定可调整的间隙。致动机构与可调整调谐环的底表面对接。致动机构被配置为更改限定在第一环的底表面与可调整调谐环的顶表面之间的可调整的间隙。
本发明授权用于边缘均匀性控制的可调整的延伸电极在权利要求书中公布了：1.一种用于基板处理腔室的工艺套件，包括： 边缘环，所述边缘环具有顶表面和底表面，所述底表面由基板支撑构件支撑，所述底表面至少部分地延伸到由所述基板支撑构件支撑的基板下方； 可调整调谐环，所述可调整调谐环定位在所述边缘环下方，所述可调整调谐环具有顶表面和底表面，所述可调整调谐环的所述顶表面与所述边缘环限定可调整的间隙，所述可调整调谐环包括： 环形主体； 空腔，所述空腔形成在所述环形主体中，所述空腔形成在所述环形主体的所述底表面中；以及 进出孔口，所述进出孔口形成在所述环形主体中，所述进出孔口从所述可调整调谐环的所述顶表面延伸到所述空腔中并且具有小于所述空腔的第二直径的第一直径；以及 致动机构，所述致动机构被容纳在所述空腔中，所述致动机构被配置为更改限定在所述边缘环的所述底表面与所述可调整调谐环的所述顶表面之间的所述可调整的间隙。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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