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龙图腾网获悉宁波芯纳川科技有限公司申请的专利一种提高声表滤波器Q值的结构与制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111934642B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010654485.1，技术领域涉及：H03H9/02；该发明授权一种提高声表滤波器Q值的结构与制造方法是由杨晓东;岳晓斌;李小珍;邢孟江设计研发完成，并于2020-07-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种提高声表滤波器Q值的结构与制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种提高声表滤波器Q值的结构与制造方法，属于电子技术领域。该结构包括压电材料衬底基板和金属换能器电极，金属换能器电极设置在压电材料衬底基板上，金属换能器电极包括间断型金属粘附层、金属填充层和金属覆盖层，间断型金属粘附层设置在压电材料衬底基板上，金属填充层填充设置在间断型金属粘附层的间隙中，金属覆盖层设置在间断型金属粘附层和金属填充层上，间断型金属粘附层、金属填充层和金属覆盖层形成叠层结构。本发明提高声表滤波器Q值的结构可采用光刻、金属生长、剥离和化学机械抛光方法进行制备，既保证滤波器制造稳定性并能通过结构设计提高声表滤波器的Q值，适用于高稳定性、高Q值的声表滤波器设计与制造。

本发明授权一种提高声表滤波器Q值的结构与制造方法在权利要求书中公布了：1.一种提高声表滤波器Q值的结构的制造方法，其特征在于，所述提高声表滤波器Q值的结构，包括压电材料衬底基板和金属换能器电极，金属换能器电极设置在压电材料衬底基板上，金属换能器电极包括间断型金属粘附层、金属填充层和金属覆盖层，间断型金属粘附层设置在压电材料衬底基板上，金属填充层填充设置在间断型金属粘附层的间隙中，金属覆盖层设置在间断型金属粘附层和金属填充层上，间断型金属粘附层、金属填充层和金属覆盖层形成叠层结构； 制造方法的具体步骤如下： （1）对压电单晶衬底基板进行清洗备用； （2）在步骤（1）压电单晶衬底基板上均匀涂覆光刻胶，利用光刻机和间断型粘附层金属相适应的掩膜版，在压电单晶衬底基板上进行掩膜版光刻，再利用光刻机在压电单晶衬底基板上进行无掩膜版光刻，显影形成间断型金属粘附层的间断型条纹图案，再在压电单晶衬底基板的间断型条纹图案上定位生长粘附层金属薄膜，剥离即得间断型金属粘附层结构； （3）在步骤（2）生长有间断型金属粘附层结构的压电单晶衬底基板上均匀涂覆光刻胶，利用光刻机和金属填充层相适应的掩膜版，在压电单晶衬底基板上进行掩膜版套刻，再利用光刻机在压电单晶衬底基板上进行无掩膜版光刻，显影形成金属填充层的间断型条纹图案，再在压电单晶衬底基板的间断型条纹图案上定位生长金属填充层薄膜，剥离即得金属填充层结构；其中金属填充层的间断型条纹图案与步骤（2）间断型粘附层金属的间断型条纹图案交错； （4）在步骤（3）金属填充层顶端继续生长金属薄膜并使其覆盖间断型金属粘附层得到金属覆盖层； （5）对步骤（4）金属覆盖层上表面进行化学机械抛光以达到金属电极表面平整度，得到提高声表滤波器Q值的结构。

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