应用材料公司M·S·K·穆蒂亚拉获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉应用材料公司申请的专利多区静电吸盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114830322B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080088027.4，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权多区静电吸盘是由M·S·K·穆蒂亚拉;S·卡玛斯;D·帕德希设计研发完成，并于2020-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本多区静电吸盘在说明书摘要公布了：示例性的半导体处理腔室可包含底座，底座包含平台，平台被配置为跨平台的表面支撑半导体基板。腔室可包括第一导电网，第一导电网结合在平台内并且构造成用作第一吸附网。第一导电网可以跨平台径向延伸。腔室可包括第二导电网，第二导电网结合在平台内并且构造成用作第二吸附网。第二导电网的特征可在于环形。第二导电网可设置在第一导电网和平台的表面之间。
本发明授权多区静电吸盘在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理腔室，包含： 底座，所述底座包含平台，所述平台被配置为跨所述平台的表面支撑半导体基板； 第一导电网，所述第一导电网结合在所述平台内，并且所述第一导电网经配置成用作第一吸附网，其中所述第一导电网跨所述平台径向延伸； 第二导电网，所述第二导电网结合在所述平台内，并且所述第二导电网经配置成用作第二吸附网，其中所述第二导电网的特征在于为环形，并且其中所述第二导电网设置在所述第一导电网和所述平台的所述表面之间；以及 第一热电偶，所述第一热电偶与所述第二导电网相关联以测量所述第二导电网的区域内的温度。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人应用材料公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号