芯恩(青岛)集成电路有限公司贾礼宾获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利一种离子注入装置及离子注入角度调控方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115497788B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110678029.5，技术领域涉及：H01J37/02；该发明授权一种离子注入装置及离子注入角度调控方法是由贾礼宾;孟昭生;季明华;贾玉杰设计研发完成，并于2021-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子注入装置及离子注入角度调控方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种离子注入装置及离子注入角度调控方法，该离子注入装置包括离子束源、靶盘、轮盘、数控液压杆及数据处理模块，其中所述离子束源用于产生离子束；所述靶盘用于承载晶圆，且所述靶盘上设置有用于发射激光信号的激光发射器；所述轮盘上设置有用于支撑所述靶盘的支架及用于接收所述激光发射器发出的激光信号的激光信号接收器；所述数控液压杆与所述支架间隔设置，用于调控所述靶盘与所述轮盘之间角度；所述数据处理模块用于接收所述激光信号接收器的反馈信号及发送调控所述数控液压杆的指令。本发明实现了对离子注入角度的实时监控与动态调控，有效的避免了锥角效应。
本发明授权一种离子注入装置及离子注入角度调控方法在权利要求书中公布了：1.一种离子注入装置，其特征在于，包括： 离子束源，用于产生离子束； 靶盘，用于承载晶圆，所述靶盘上设置有用于发射激光信号的激光发射器，所述激光发射器发射出的激光束与所述靶盘的下表面平行； 轮盘，所述轮盘上设置有用于支撑所述靶盘的支架及用于接收所述激光信号的激光信号接收器； 数控液压杆，与所述支架间隔设置，所述数控液压杆的两端分别与所述靶盘及所述轮盘连接以调节所述靶盘与所述轮盘之间的夹角，所述激光信号接收器的激光接收面垂直于所述轮盘，所述激光信号接收器与所述支架间隔第一预设距离； 数据处理模块，用于接收所述激光信号接收器的反馈信号、计算所述靶盘与所述离子束之间的夹角及发送调控所述数控液压杆的指令。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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