极光先进雷射株式会社星野裕大获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉极光先进雷射株式会社申请的专利极紫外光生成装置和电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114265285B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110880235.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权极紫外光生成装置和电子器件的制造方法是由星野裕大;渡边幸雄;西坂敏博;植田笃;神家幸一郎;小山内贵幸;新美刚太设计研发完成，并于2021-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本极紫外光生成装置和电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供极紫外光生成装置和电子器件的制造方法。极紫外光生成装置具有：腔；第1分隔壁，其覆盖腔的内部的等离子体生成区域，并具有第1开口；EUV聚光镜，其位于腔的内部且第1分隔壁的外部的第1空间，使在等离子体生成区域产生且通过第1开口后的极紫外光聚光；第1气体供给口，其被形成于腔，向第1空间供给气体；以及气体排放口，其被形成于第1分隔壁，将第1分隔壁的内部的第2空间的气体排放到第1分隔壁的外部且腔的外部。
本发明授权极紫外光生成装置和电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种极紫外光生成装置，其具有： 腔； 第1分隔壁，其覆盖所述腔的内部的等离子体生成区域，并具有第1开口； EUV聚光镜，其位于所述腔的内部且所述第1分隔壁的外部的第1空间，使在所述等离子体生成区域产生且通过所述第1开口后的极紫外光聚光； 第1气体供给口，其被形成于所述腔，向所述第1空间供给气体；以及 气体排放口，其被形成于所述第1分隔壁，将所述第1分隔壁的内部的第2空间的气体排放到所述第1分隔壁的外部且所述腔的外部。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人极光先进雷射株式会社，其通讯地址为：日本栃木县；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号