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意法半导体股份有限公司F·里奇尼获国家专利权

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龙图腾网获悉意法半导体股份有限公司申请的专利具有改善的对应力稳定性的微机电传感器器件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114062714B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110901931.9,技术领域涉及:G01P15/08;该发明授权具有改善的对应力稳定性的微机电传感器器件是由F·里奇尼;C·瓦尔扎西纳;G·加特瑞设计研发完成,并于2021-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。

具有改善的对应力稳定性的微机电传感器器件在说明书摘要公布了:本公开的实施例涉及具有改善的对应力稳定性的微机电传感器器件。一种微机电传感器器件具有检测结构,检测结构包括:基底,具有第一表面;移动结构,具有在第一表面的第一区域处悬置于基底上方的惯性质量块,以便相对于基底执行至少一个惯性移动;以及固定结构,具有在第一区域处悬置于基底上方的固定电极并且与移动结构一起限定出电容耦合部以形成至少一个感测电容器。器件还包括:单个整体式机械锚固件结构,定位于第一表面的与第一区域分离的第二区域处并且耦合至移动结构、固定结构和基底;以及连接元件,将移动结构和固定结构机械耦合至单个机械锚固件结构。

本发明授权具有改善的对应力稳定性的微机电传感器器件在权利要求书中公布了:1.一种微机电传感器器件,包括: 基底,具有第一表面,所述第一表面具有第一区域和第二区域,所述第二区域在横向方向上定位于所述第一区域的外部; 移动结构,包括在所述第一表面的所述第一区域处悬置于所述基底上方的惯性质量块; 固定结构,包括在所述第一表面的所述第一区域处悬置于所述基底上方的固定电极; 至少一个感测电容器,包括电容耦合至所述固定结构的所述移动结构; 单个整体式锚固件,在所述第二区域处耦合至所述基底,所述单个整体式锚固件耦合至所述移动结构和所述固定结构; 支撑元件;以及 多个连接元件,包括: 第一连接元件和第二连接元件,耦合至所述固定电极的相应集合以及所述单个整体式锚固件;以及 第三连接元件,耦合至所述支撑元件和所述单个整体式锚固件。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人意法半导体股份有限公司,其通讯地址为:意大利阿格拉布里安扎;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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