深圳市联得自动化装备股份有限公司郑嘉瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市联得自动化装备股份有限公司申请的专利键合头、芯片键合机和键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114709143B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210332496.7，技术领域涉及：H01L21/60；该发明授权键合头、芯片键合机和键合方法是由郑嘉瑞;胡金;王明军;张浩;尹祖金;周宽林;李虎;耿小猛;李昌洪设计研发完成，并于2022-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本键合头、芯片键合机和键合方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种键合头、芯片键合机和键合方法，所述键合头包括：拾取组件、多个柔性体及多个控制件，所述拾取组件用于拾取芯片，所述柔性体包括第一连接端和第二连接端，多个所述柔性体的所述第一连接端均与所述拾取组件连接，多个所述柔性体的所述第二连接端分别对应地与多个所述控制件连接，所述控制件能够控制所述第一连接端与所述第二连接端之间的距离。上述键合头能够自适应地调平芯片与基板，提高芯片与基板键合时的精度。芯片键合机包括上述键合头，能够提高芯片与基板键合时的精度。键合方法应用于上述芯片键合机，能够提高芯片与基板键合时的精度。
本发明授权键合头、芯片键合机和键合方法在权利要求书中公布了：1.一种键合头，其特征在于，所述键合头包括：拾取组件、多个柔性体及多个控制件，所述拾取组件用于拾取芯片，所述柔性体包括第一连接端和第二连接端，多个所述柔性体的所述第一连接端均与所述拾取组件连接，多个所述柔性体的所述第二连接端分别对应地与多个所述控制件连接，所述控制件能够控制所述第一连接端与所述第二连接端之间的距离，所述控制件与所述柔性体的数量相同，所述控制件一一对应地与所述第二连接端连接； 其中，所述键合头还包括多个读数头、与所有所述第一连接端连接的第一承载板，以及与所有所述第二连接端连接的第二承载板，所述拾取组件设于所述第一承载板上远离所述第一连接端的一侧，所述控制件通过与所述第二承载板上开设的配合孔连接至所述第二连接端，用于控制所述第一承载板与所述第二承载板之间的距离，所有所述读数头均设于所述第二承载板上，所述读数头的数量与所述控制件的数量相同，多个所述读数头一一对应地设于多个所述控制件与所述第二承载板的连接处。
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