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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115148893B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210901455.5，技术领域涉及：H10N30/20；该发明授权一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法是由李支康;袁佳炜;赵立波;李梓璇;秦韶辉;石璇;马琦;罗国希;杨萍;王小章;蒋庄德设计研发完成，并于2022-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法，包括柔性基底和设置于柔性基底上的若干换能单元，各换能单元之间是相互独立的，具体是指各单元的结构层、柔性下电极、下压电层、柔性中间电极、上压电层和柔性上电极是相互独立的，各换能单元之间仅靠柔性材料连接，在器件弯曲、拉伸及扭转时，柔性材料被拉伸或压缩，产生较大形变，而各单元的压电层和结构层几乎不产生形变，不会导致上压电层、下压电层和结构层破断裂，从而在实现器件整体的高柔性和可拉伸性的同时保证各PMUTs单元性能不受影响。本发明的柔性PMUTs可采用全MEMS工艺进行制作，可在实现制作具有弯曲和扭转功能PMUTs的同时，保证器件的高灵敏度和单元密度。

本发明授权一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有弯曲和扭转变形功能的柔性PMUTs，其特征在于，包括柔性基底（13）和设置于柔性基底（13）上的若干换能单元，每个换能单元包括柔性支柱（11）、结构层（7）、柔性下电极（6）、下压电层（5）、柔性中间电极（4）、上压电层（3）和柔性上电极（1），柔性支柱（11）设置于柔性基底（13）上，结构层（7）设置于柔性支柱（11）的上端，结构层（7）、柔性支柱（11）和柔性基底（13）之间密封形成有真空的空腔（12）；下压电层（5）设置于结构层（7）的上表面，柔性下电极（6）设置于结构层（7）上表面且柔性下电极（6）嵌入下压电层（5）的下表面；上压电层（3）设置于下压电层（5）的上表面，柔性中间电极（4）的形状为环状，柔性中间电极（4）设置于下压电层（5）的上表面且柔性中间电极（4）嵌入上压电层（3）的下表面，柔性上电极（1）设置于上压电层（3）的上表面；柔性上电极（1）与柔性下电极（6）电连接； 相邻换能单元之间公用所述柔性支柱（11），所有换能单元的柔性上电极（1）之间设置上电极电连接（8）；所有的换能单元的柔性中间电极（4）之间设置中间电极电连接（10）。

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