深圳公大激光有限公司时华峰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳公大激光有限公司申请的专利一种用于钙钛矿光伏的激光退火装置及其使用方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115377298B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210903212.5,技术领域涉及:H10K71/40;该发明授权一种用于钙钛矿光伏的激光退火装置及其使用方法是由时华峰;张帆设计研发完成,并于2022-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于钙钛矿光伏的激光退火装置及其使用方法在说明书摘要公布了:本申请提供一种用于钙钛矿光伏样品的激光退火装置和及其使用方法,该激光退火装置包括:用于激光测距和激光退火的可见光激光器,用于激光波束整形的振镜,用于温度监控的红外温度传感器,监控样品的摄像头,放置于摄像头前、用于滤除激光波长的滤波器,用于放置样品的置物架,用于水平面内移动的导轨,用于驱动导轨的电机,用于控制激光器、温度探测器、摄像头、电机等部件的运动或工作的控制电路。在激光退火过程中,通过温度传感器和摄像头实时监测激光退火过程中钙钛矿光伏样品表面的温度和颜色变化,使得本申请的激光退火装置处理得到的钙钛矿光伏相较现有的退火装置具有更高的光电转化效率。
本发明授权一种用于钙钛矿光伏的激光退火装置及其使用方法在权利要求书中公布了:1.一种用于钙钛矿光伏的激光退火装置的使用方法,其特征在于,包括如下步骤: S1:将待加工钙钛矿光伏样品放置于置物架(6)上; S2:激光器(1)选用小功率、脉冲工作方式;控制导轨(7)和电机(8),将激光器(1)输出的激光光斑对准置物架(6)不可调支脚C(或D)对应置物架(6)上表面位置处白色圆圈附近待加工钙钛矿光伏表面;测量激光输出与置物架(6)C(或D)对应白色圆圈之间的距离L1; S3:通过调整激光器(1)和或振镜(2)的升降,可以改变距离L1的数值,改变距离L1的数值,可以调整照射到钙钛矿光伏样品表面的激光功率密度,当距离L1和振镜(2)焦距L0相等时,照射到待加工钙钛矿光伏表面的激光功率密度最大; S4:通过控制导轨(7)和电机(8),将激光器(1)输出的激光光斑对准置物架(6)可调支脚A对应置物架(6)上表面位置处白色圆圈;测量激光输出与置物架(6)A对应白色圆圈之间的距离L2,调整支脚A的高度,使L1=L2; S5:通过控制导轨(7)和电机(8),将激光器(1)输出的激光光斑对准置物架(6)可调支脚B对应置物架(6)上表面位置处白色圆圈;测量激光输出与置物架(6)B对应白色圆圈之间的距离L3,调整支脚A的高度,使L1=L2=L3;可以确保待加工钙钛矿光伏表面与振镜(2)的焦平面平行,从而确保待加工钙钛矿光伏表面的激光功率密度相同; S6:激光器(1)选用大功率、连续工作方式; S7:通过温度传感器(3)读取待加工钙钛矿光伏样品表面的温度,实时监测待加工钙钛矿光伏表面的温度变化; S8:通过摄像头(4)和显示屏查看待加工钙钛矿光伏样品表面的颜色,实时监测待加工钙钛矿光伏表面的颜色变化; S9:通过控制导轨(7)和电机(8),使激光器(1)输出激光光斑逐次照射钙钛矿光伏样品,完成全部样品的激光退火;该过程中,通过控制导轨(7)和电机(8)调整扫描速度,从而调整激光光斑照射在钙钛矿光伏样品上每个位置的有效时间; S10:完成钙钛矿光伏激光退火;停止激光器(1)输出激光; 用于钙钛矿光伏的激光退火装置包括:用于激光测距和激光退火的发出可见光的激光器(1),所述激光器(1)输出的可见光激光的中心波长为532+-2nm、半峰值带宽为5nm~10nm的窄带激光; 放置于激光器(1)前、用于激光波束整形的振镜(2); 用于温度监控的温度传感器(3); 监控样品颜色变化的摄像头(4); 放置于摄像头(4)前、用于滤除干扰光波的滤波器(5); 用于放置样品的置物架(6),所述置物架(6)置于激光器(1)、振镜(2)、摄像头(4)、滤波器(5)的下方; 用于水平面内移动的导轨(7); 用于驱动导轨(7)的电机(8); 用于整机工作的控制电路; 所述滤波器(5)至少滤除波长为650nm-750nm波段区间的荧光。
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