中国科学院微电子研究所王然获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115356266B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211028803.9，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统是由王然;岳嵩;曲世田;赵泓达;薛美;张紫辰设计研发完成，并于2022-08-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统，该超表面器件的可调谐测量方法包括：将待测的超表面器件粘在玻璃片上，以在超表面与玻璃片之间形成微米腔；将玻璃片和待测的超表面器件呈水平放置；微米腔利用毛细现象吸入折射率敏感流体；测量光束透过玻璃片聚焦在超表面的同时，改变吸入微米腔内的折射率敏感流体的折射率，并收集从超表面反射出的光束，形成待测的超表面器件的反射光谱。通过改变超表面上方的介电环境，从而能够获得较大的折射率调制范围。将玻璃片和待测的超表面器件水平放置，提升超表面器件调谐的均匀性和调谐效果。
本发明授权一种超表面器件的可调谐测量方法及测量系统在权利要求书中公布了：1.一种超表面器件的可调谐测量方法，其特征在于，包括： 将待测的超表面器件粘在玻璃片上，以在所述超表面与所述玻璃片之间形成微米腔； 将所述玻璃片和所述待测的超表面器件呈水平放置； 所述微米腔利用毛细现象吸入折射率敏感流体； 测量光束透过所述玻璃片聚焦在所述超表面的同时，改变吸入所述微米腔内的折射率敏感流体的折射率，并收集从所述超表面反射出的光束，形成所述待测的超表面器件的反射光谱； 所述折射率敏感流体为折射率-温度敏感液体； 所述改变吸入所述微米腔内的折射率敏感流体的折射率包括：发出泵浦光束，所述泵浦光束直接或间接透过所述玻璃片聚焦在所述超表面与所述玻璃片之间的微米腔，以加热吸入所述微米腔内的所述折射率-温度敏感液体的温度，使吸入所述微米腔内的所述折射率-温度敏感液体的折射率改变。
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