上海精积微半导体技术有限公司顾骏获国家专利权
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龙图腾网获悉上海精积微半导体技术有限公司申请的专利用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115714905B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211177922.0，技术领域涉及：H04N23/60；该发明授权用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备是由顾骏;颜洪雷设计研发完成，并于2022-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备在说明书摘要公布了：本发明涉及一种用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备，该用于成像系统中图像采集的控制方法包括：通过标准测试硅片标定运动台在运动过程中的位置偏差，标准测试硅片包括若干对称分布的标记且其中一个标记位于标准测试硅片的中心位置；通过光栅尺获取运动台的名义位置信号；基于名义位置信号和位置偏差，计算运动台的实际位置；基于实际位置，生成触发信号以触发TDI相机进行图像采集；解决运动台的速度和TDI相机的行频同步精度低的问题。
本发明授权用于成像系统中图像采集的控制方法及晶圆缺陷检测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于成像系统中图像采集的控制方法，所述成像系统包括运动台和TDI相机，其特征在于，包括： 通过标准测试硅片标定所述运动台在运动过程中不同位置处的位置偏差，所述标准测试硅片包括若干对称分布的标记且其中一个标记位于所述标准测试硅片的中心位置； 通过光栅尺获取所述运动台的名义位置信号； 基于所述名义位置信号和所述位置偏差，计算所述运动台的实际位置； 基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集； 所述基于所述实际位置，生成触发信号以触发所述TDI相机进行图像采集，包括： 基于所述运动台的实际位置以及所述运动台的运行时间计算相应一段时间间隔内所述运动台的平均运动速度；生成与所述运动台的平均运动速度以及所述成像系统的光学放大倍率相匹配的所述触发信号触发TDI相机进行图像采集；或， 基于所述TDI相机的像元尺寸，设置若干触发位置，每相邻两个触发位置的间隔距离=TDI相机的像元尺寸成像系统的光学放大倍率;所述运动台的实际位置位于所述触发位置时，生成所述触发信号以触发TDI相机进行图像采集。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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