买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉西北工业大学申请的专利一种基于超表面加载的太赫兹光热探测器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116519625B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211695724.3，技术领域涉及：G01N21/3581；该发明授权一种基于超表面加载的太赫兹光热探测器是由朱海亮;王开;牟进超;刘甘雨;王庚辰;谢胜琳;周雨欣;狄玉洁设计研发完成，并于2022-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于超表面加载的太赫兹光热探测器在说明书摘要公布了：本发明一种基于超表面加载的太赫兹光热探测器，属于太赫兹探测器领域；包括耦合模块、读出模块和衬底模块，所述耦合模块用于吸收太赫兹辐射，并产生温度变化；所述读出模块包括热敏薄膜、电路结构、支撑悬臂、触点；其中热敏薄膜贴敷于耦合模块的背面，并通过电路结构与触点连接，通过触点对热敏薄膜的阻值进行读出；所述支撑悬臂用于悬置耦合模块、部分电路结构、热敏薄膜，与衬底模块分离隔热。本发明使用超表面吸波结构作为太赫兹探测器的耦合模块，提高探测器耦合效率及响应度，并利用热敏薄膜，实现室温下高灵敏度实时探测，为太赫兹焦平面阵列成像系统提供技术支撑。

本发明授权一种基于超表面加载的太赫兹光热探测器在权利要求书中公布了：1.一种基于超表面加载的太赫兹光热探测器，其特征在于：包括耦合模块、读出模块和衬底模块，所述耦合模块用于吸收太赫兹辐射，并产生温度变化； 所述读出模块包括热敏薄膜、电路结构、支撑悬臂、触点；其中热敏薄膜贴敷于耦合模块的背面，并通过电路结构与触点连接，通过触点对热敏薄膜的阻值进行读出；所述支撑悬臂用于悬置耦合模块、部分电路结构、热敏薄膜，与衬底模块分离隔热； 所述耦合模块为复合型超表面吸波结构，位于整个探测器的顶部，直接受到太赫兹波照射；所述复合型超表面吸波结构从上到下依次为金属顶层、介质层、金属背板，其中金属顶层是由两种不同尺寸、不同材质金属的十字贴片进行周期化排列得到阵列结构； 所述支撑悬臂的材质为氮化硅，包括绝缘层、悬臂和垫块；所述绝缘层为方形平板，其上表面放置耦合模块，下表面贴附有热敏薄膜；所述悬臂为L型平板，两个悬臂水平设置于绝缘层的相对两侧，其短臂端头分别与绝缘层的相对两侧对角位置的边缘连接，长臂端头分别与两个垫块的顶端连接；所述垫块置于衬底模块上； 所述电路结构为金属材质，包括从上到下依次连接的连接层、连接块、贴片和圆柱； 所述连接层为U型平板，两个连接层设置于热敏薄膜的相对两侧，U型平板的一侧臂与热敏薄膜连接，另一侧臂端头连接于连接块的顶端；且连接层贴紧于绝缘层和悬臂的下表面，其另一侧臂结构与悬臂结构一致； 两个所述连接块分别位于两个垫块的相对侧； 两个所述贴片分别位于两个垫块与衬底模块之间； 两个所述圆柱顶端分别与两个贴片连接，底端均贯穿衬底模块与触点连接； 所述热敏薄膜为氧化钒材质的方形板。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人西北工业大学，其通讯地址为：710072 陕西省西安市友谊西路；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。