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龙图腾网获悉长鑫存储技术有限公司申请的专利套刻误差补偿方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118732405B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310290970.9，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权套刻误差补偿方法是由黄仁洲;陈航卫设计研发完成，并于2023-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本套刻误差补偿方法在说明书摘要公布了：本公开提供一种套刻误差补偿方法、装置与电子设备。套刻误差补偿方法包括：获取目标晶圆的第一套刻标记在当层的第一坐标与在前层的第二坐标；根据所述第一坐标和所述第二坐标获取所述第一套刻标记对应的实测套刻误差；根据多个所述第一套刻标记的所述实测套刻误差，确定第二套刻标记的估测套刻误差，所述第二套刻标记位于多个所述第一套刻标记之间；根据多个第二套刻标记的所述估测套刻误差和多个所述第一套刻标记的所述实测套刻误差确定所述目标晶圆在下一层的套刻误差补偿值。本公开实施例可以提高晶圆制造效率。

本发明授权套刻误差补偿方法在权利要求书中公布了：1.一种套刻误差补偿方法，其特征在于，包括： 获取目标晶圆的第一套刻标记在当层的第一坐标与在前层的第二坐标； 根据所述第一坐标和所述第二坐标获取所述第一套刻标记对应的实测套刻误差； 根据多个所述第一套刻标记的所述实测套刻误差，确定第二套刻标记的估测套刻误差，所述第二套刻标记位于多个所述第一套刻标记之间； 根据多个第二套刻标记的所述估测套刻误差和多个所述第一套刻标记的所述实测套刻误差确定所述目标晶圆在下一层的套刻误差补偿值； 其中，所述实测套刻误差包括第一方向值和第二方向值，所述估测套刻误差包括第一方向值和第二方向值，所述根据多个所述第一套刻标记的所述实测套刻误差，确定第二套刻标记的估测套刻误差包括： 确定一个所述第二套刻标记对应的多个目标第一套刻标记，所述多个目标第一套刻标记围绕所述第二套刻标记； 将所述多个目标第一套刻标记的所述实测套刻误差的第一方向值和第二方向值带入预设模型，以得到所述第二套刻标记的所述估测套刻误差的所述第一方向值和所述第二方向值； 其中，所述预设模型根据制程历史数据中所述多个第一套刻标记的实测套刻误差以及所述第二套刻标记的实测套刻误差训练而成； 其中，所述预设模型的训练过程包括： 建立每个所述第二套刻标记与其对应的所述多个目标第一套刻标记的第一方向值关联方程以及第二方向值关联方程，所述第一方向值关联方程包括所述第二套刻标记的所述第一方向值与所述多个目标第一套刻标记的多个第一方向值之间的第一计算系数矩阵，所述第二方向值关联方程包括所述第二套刻标记的所述第二方向值与所述多个目标第一套刻标记的多个第二方向值之间的第二计算系数矩阵； 获取历史加工晶圆对应的制程历史数据，在所述制程历史数据中确定多个所述第一套刻标记对应的实测套刻误差以及多个所述第二套刻标记对应的实测套刻误差； 根据所述制程历史数据，对每个所述第二套刻标记的所述第一方向值关联方程和所述第二方向值关联方程进行数值填充，以确定所述第一计算系数矩阵和所述第二计算系数矩阵； 根据训练结束后确定的所述第一计算系数矩阵和所述第二计算系数矩阵固定所述第一方向值关联方程以及所述第二方向值关联方程。

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