上海交通大学陆子杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116810137B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310565650.X,技术领域涉及:B23K26/064;该发明授权基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法及系统是由陆子杰;罗国虎;王岱荪;陈嘉宇;韩沛成;胡永祥设计研发完成,并于2023-05-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法及系统在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法及系统,包括光束整形模块、聚焦模块、运动模块、视觉标定模块、对焦测量模块以及同步触发模块。光束整形模块提供多束并行调制激光,多束并行调制激光经聚焦模块聚焦为环形聚焦激光束,环形聚焦激光束对运动模块上的微锥阵列毛坯件加工。视觉标定模块标定环形聚焦激光束聚焦位置并实时监测激光加工过程,对焦测量模块构建微锥阵列毛坯件的三维形貌。同步触发模块依据微锥阵列毛坯件的三维形貌形成光束整形模块和运动模块的控制时序。本发明通过物镜精准聚焦与多光束并行加工的结合,能够同时兼顾大规模微米级微锥阵列的加工精度与效率要求。
本发明授权基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工方法,其特征在于,利用基于环形光斑调制的微锥阵列飞秒激光加工系统执行如下步骤; 步骤S1:对焦测量模块构建微锥阵列毛坯件10的微锥三维形貌; 步骤S2:依据微锥三维形貌,规划微锥目标形貌的加工工艺,制定用于激光加工的空间光调制器3与三维运动平台13光束整形模块和运动模块的控制程序; 步骤S3:基于视觉标定模块,实现聚焦模块和运动环形聚焦激光束9的对焦与三维运动平台13的回零操作; 步骤S4:同步触发模块同步触发器19同步控制光束整形模块和运动模块飞秒激光器1的出光、空间光调制器3的起调与三维运动平台13的启动,开始加工; 步骤S5:单次加工结束后,对焦测量模块重构已加工微锥阵列11的三维形貌并统计尺寸与形状特征,并判断当前已加工微锥阵列11的三维形貌是否符合预期要求,若是,则结束加工;若否,则返回步骤S2; 其中,所述基于环形光斑调制的维锥阵列飞秒激光加工系统,包括光束整形模块、聚焦模块、运动模块、视觉标定模块、对焦测量模块以及同步触发模块; 所述光束整形模块提供多束并行调制激光7,所述多束并行调制激光7经聚焦模块聚焦为环形聚焦激光束9,所述环形聚焦激光束9对运动模块上的微锥阵列毛坯件10加工; 视觉标定模块标定环形聚焦激光束9聚焦位置并实时监测激光加工过程,对焦测量模块构建微锥阵列毛坯件10的三维形貌; 同步触发模块依据微锥阵列毛坯件10的三维形貌形成光束整形模块和运动模块的控制时序。
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