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龙图腾网获悉昆明理工大学申请的专利一种钙掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117144305B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311108302.6，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权一种钙掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法是由马吉;张通;杨盛安;李俊宏;黄鑫设计研发完成，并于2023-08-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种钙掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种钙掺杂铁酸铋（Bi1‑ xCaxFeO3）薄膜体系材料的制备方法，该方法具体包括以下步骤：溶液制备，凝胶及粉体制备，靶材制备，底电极靶材制备，靶材和衬底处理，薄膜生长环境调控，薄膜制备；本发明采用溶剂凝胶法保证了各组分在分子级别的混合，陶瓷靶材致密度高，外延生长的薄膜成相纯度高；本发明通过调节钙掺杂比例引入不同浓度的氧空位，增强了薄膜的导电性，具有极大的潜在应用价值；本发明通过引入与Bi1‑xCaxFeO3晶格常数差别小的La0.5Sr0.5MnO3电极材料作为底电极，使得外延生长的薄膜具有原子级别的平整台阶，有利于外延生长，降低缺陷密度、薄膜结晶质量好，提升器件的性能和寿命。

本发明授权一种钙掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种钙掺杂铁酸铋薄膜体系材料的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤： 1溶液制备 将四水硝酸钙、五水硝酸铋、九水硝酸铁按Bi1-xCaxFeO3元素化学摩尔计量配比进行称量，然后称量柠檬酸，将所称量的混合料先后溶于甲醇与乙二醇的混合溶剂烧杯中，在烧杯里放入磁力搅拌子，把烧杯放在恒温磁力均匀台上均匀搅拌，控制磁力转速，待一段时间过后得到均匀的溶液；其中，x＝0.02-0.30，柠檬酸与钙掺杂铁酸铋的金属阳离子摩尔比为1:1，甲醇与乙二醇的体积比值为5:1~3:1，搅拌时间30~60min，磁力转速为200~400rmin； 2凝胶及粉体制备 将步骤1均匀的溶液移动至加热磁力均匀台进行搅拌加热一段时间，待溶剂蒸发形成大量气泡，将烧杯置于干燥恒温烘箱中充分发泡一段时间得到凝胶，将凝胶从烧杯里取出，放入预先洗净的研钵中充分磨碎，得到钙掺杂铁酸铋陶瓷粉体，将钙掺杂铁酸铋陶瓷粉体放入箱式炉进行预烧处理，控制升温速率、初烧时间、烧结温度，得到初次煅烧粉体； 3靶材制备 将步骤2中的初次煅烧粉体放入特定模具中，进行加压处理，制成钙掺杂铁酸铋陶瓷块体，将所得陶瓷块体放入箱式炉中进行煅烧，得到钙掺杂铁酸铋陶瓷靶材； 4底电极靶材制备 通过使用溶胶凝胶法，将硝酸锶、硝酸镧、硝酸锰溶于去离子水溶剂中，加热搅拌形成湿凝胶，放入干燥箱烘干；最后将凝胶研磨，预烧处理得到纳米粉体；将纳米粉体研磨并对其进行压片处理，再进行二次烧结即得La0.5Sr0.5MnO3底电极靶材； 5靶材和衬底处理 将Bi1-xCaxFeO3和La0.5Sr0.5MnO3靶材使用砂纸打磨，然后用酒精和无尘纸清洁，LaAlO3衬底放入箱式炉烧结,烧结条件为常压、空气气氛；使用银浆将LaAlO3衬底固定在衬盘合适的位置，并使用红外加热灯加热，把银浆烘干，把靶材放置在靶位合适位置； 6薄膜生长环境调控 先对PLD腔体抽真空处理，当腔体真空度达到一定时，用挡板遮住，设置脉冲激光器的参数，进行预溅射，溅射完毕，开始使用红外激光加热； 7薄膜制备 先生长一层La0.5Sr0.5MnO3底电极：设置腔体红外激光加热温度为700~750℃，关闭分子泵，调节腔体氧压为15~20Pa，薄膜生长速率为80~100nmh；再生长Bi1-xCaxFeO3薄膜：设置腔体红外激光加热温度为600~700℃，调节腔体氧压为13.3~26.6Pa，膜生长速率为120~140nmh；生长完毕后，通入1×104~2×104Pa氧气退火，降温速率10~15℃min，退火时间45~60min，得到Bi1-xCaxFeO3薄膜。

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