浙江固微科技有限公司王茹娟获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江固微科技有限公司申请的专利一种基于磁控溅射沉积法的氧化铝绝缘膜获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223357729U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421185784.5，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种基于磁控溅射沉积法的氧化铝绝缘膜是由王茹娟;朱华文;陈龙设计研发完成，并于2024-05-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于磁控溅射沉积法的氧化铝绝缘膜在说明书摘要公布了：本申请提供了一种基于磁控溅射沉积法的氧化铝绝缘膜，包括镜面不锈钢基片和绝缘薄膜，绝缘薄膜包括等离子层、气作用层、溅射层和靶材层，镜面不锈钢基片的外端设有保护层，保护层的外端与等离子层相互粘附，气作用层和溅射层混合作用在等离子层的外侧，气作用层和溅射层的外端与靶材层之间设置有中空层，保护层为无尘无菌膜层，等离子层由氩气和氧气在高真空状态下混合沉积，靶材层与镜面不锈钢基片之间的距离范围在50～100mm，溅射层的溅射功率密度为0.015Wmm2～0.030Wmm2，溅射层的溅射时间为2～6h。本申请解决了在薄膜传感器的设计中薄膜附着力比较弱，且绝缘性能容易在使用的过程中产生失效短路的问题。
本实用新型一种基于磁控溅射沉积法的氧化铝绝缘膜在权利要求书中公布了：1.一种基于磁控溅射沉积法的氧化铝绝缘膜，包括镜面不锈钢基片（2）和绝缘薄膜（1），其特征在于，所述绝缘薄膜（1）包括等离子层（4）、气作用层（5）、溅射层（6）和靶材层（7），所述镜面不锈钢基片（2）的外端设有保护层（3），所述保护层（3）的外端与等离子层（4）相互粘附，所述气作用层（5）和溅射层（6）混合作用在等离子层（4）的外侧，所述气作用层（5）和溅射层（6）的外端与靶材层（7）之间设置有中空层（8）。
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