江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司朱兵兵获国家专利权
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龙图腾网获悉江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种晶圆修正检测方法、系统、计算机及存储介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118899236B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410940524.2，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆修正检测方法、系统、计算机及存储介质是由朱兵兵;王先明;吕守贵;郭磊;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成，并于2024-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆修正检测方法、系统、计算机及存储介质在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆修正检测方法、系统、计算机及存储介质，该方法包括以下步骤：控制探针组中各探针依次对晶圆的目标区域进行检测，以得到与各探针对应的多个校验数据；将探针组中的任一探针对应的校验数据作为标准数据，以基于标准数据得到与探针组中其他探针对应的多个修正系数；对晶圆进行批量检测，以得到与各晶粒对应的多个检测数据；基于修正系数对检测数据进行修正，得到与各晶粒对应的多个目标数据。通过在对晶圆测试之前，基于各探针校验数据之间的差异性，计算与各探针对应的修正系数，然后基于修正系数对后续获取得到的检测数据进行修正，从而消除由于各探针通道差影响，得到稳定性及一致性较高的目标数据，提高产品良率的稳定性。
本发明授权一种晶圆修正检测方法、系统、计算机及存储介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆修正检测方法，其特征在于，包括以下步骤： 控制探针组中各探针依次对晶圆的目标区域进行检测，以得到与各所述探针对应的多个校验数据； 将所述探针组中的任一探针对应的校验数据作为标准数据，以基于所述标准数据得到与所述探针组中其他探针对应的多个修正系数； 基于所述探针组中的各探针对晶圆进行批量检测，以得到与各晶粒对应的多个检测数据； 基于所述修正系数对所述检测数据进行修正，得到与各晶粒对应的多个目标数据。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江西耀驰科技有限公司;江西兆驰半导体有限公司，其通讯地址为：330096 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号第二层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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