深圳市先地图像科技有限公司陈乃奇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市先地图像科技有限公司申请的专利一种提高激光器曝光精度的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118795739B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410982403.4,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权一种提高激光器曝光精度的方法是由陈乃奇;徐虎设计研发完成,并于2024-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高激光器曝光精度的方法在说明书摘要公布了:本申请实施例公开了一种提高激光器曝光精度的方法,应用于激光直写技术领域,包括:步骤1:获取激光直写设备的任意一颗激光器对应的待曝光的M行图像条、每行图像条被等分成N段图像段的共M*N个补偿值;步骤2:激光直写设备的控制模块根据M*N个补偿值,控制所述激光器出光,按从先到后的顺序逐行曝光M行图像条,以使得所述M行图像条被精确曝光。本方法通过将每一颗激光器曝光的M行图像条的每一行先均分为N段,得到M*N段图像段,然后根据M*N个补偿值,对每一段图像段精确曝光,提高了图像曝光精度。
本发明授权一种提高激光器曝光精度的方法在权利要求书中公布了:1.一种提高激光器曝光精度的方法,用于激光直写设备中,其特征在于,包括: 步骤1:获取激光直写设备的任意一颗激光器对应的待曝光的M行图像条、每行图像条被等分成N段图像段的共M*N个补偿值; 步骤2:激光直写设备的控制模块根据M*N个补偿值,控制所述激光器出光,按从先到后的顺序逐行曝光M行图像条,以使得所述M行图像条被精确曝光; 步骤1中,任意一行图像条中的N个补偿值通过如下方法计算得到: 步骤11,定义M行图像条中的任意第P行图像条的每一段图像段长度L等于在每相隔时长T内激光器理论上曝光的长度; 步骤12,获取激光器为依次曝光任意第P行图像条的N段图像段的任意第X段图像段时行走的实际位移为Lpx,共得到N个实际位移Lpx; 步骤13,将N个实际位移Lpx与对应的那段图像段的长度L相减,得到N个差值dPX,dPX=Lpx-L,N个差值dPX即为所述任意第P行图像条的N个补偿值; 其中,X为1至N的任意一个自然数,P为1至M之间的任意一个自然数; 步骤1中的M行图像条等长且呈一列竖直分布;激光直写设备的所有激光器处于同一竖直位置且同步运动、同步点亮和同步熄灭。
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