华天科技(南京)有限公司刘新奎获国家专利权
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龙图腾网获悉华天科技(南京)有限公司申请的专利一种半导体封装的等离子清洗设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118942994B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410995373.0，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种半导体封装的等离子清洗设备是由刘新奎设计研发完成，并于2024-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体封装的等离子清洗设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体封装的plasma设备，包括上下料模组、存储机构、输送机构、清洗机，所述上下料模组包括相对设于存储机构两侧的外接驳机构、内接驳机构，且外接驳机构与存储机构之间设有外定位台，内接驳机构与存储机构之间设有内定位台；所述存储机构包括智能储料仓，智能储料仓通过外定位台、内定位台实现物料的密封传递，且上下料模组与存储机构之间通过机械手一、机械手二、机械手三实现物料的传递；所述输送机构用于内接驳机构与清洗机之间的物料运输，所述清洗机用于清洗物料。本发明集自动上料、工单存储、系统分拣、自动运输、清洗、下料于一体，结构紧凑，实现了自动化无人操作，提升了清洗效率和清洗质量。
本发明授权一种半导体封装的等离子清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体封装的等离子清洗设备，其特征在于：包括上下料模组、存储机构、输送机构、清洗机，所述上下料模组用于上下料，包括相对设于存储机构两侧的外接驳机构、内接驳机构，且外接驳机构与存储机构之间设有与存储机构抵接的外定位台，内接驳机构与存储机构之间设有与存储机构抵接的内定位台，所述外接驳机构上设有用于外接驳机构与外定位台之间的物料运输的机械手一，所述内接驳机构上设有用于内接驳机构与内定位台之间的物料运输的机械手二；所述存储机构包括密封充氮的智能储料仓，智能储料仓内设有机械手三，所述机械手三用于智能储料仓与外定位台、内定位台之间的物料运输；机械手一、机械手二、机械手三的输出端均设有夹取物料的夹爪；所述外定位台、内定位台上均设有放置槽，且放置槽与智能储料仓连通时为封闭状态；所述输送机构设有多个，用于内接驳机构与清洗机之间的物料运输，所述清洗机用于清洗物料。
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