深圳市恒运昌真空技术股份有限公司乐卫平获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉深圳市恒运昌真空技术股份有限公司申请的专利一种阻抗匹配调节方法、装置及等离子体产生设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118942996B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411007386.9，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种阻抗匹配调节方法、装置及等离子体产生设备是由乐卫平;林伟群;林桂浩;吴基锴设计研发完成，并于2024-07-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种阻抗匹配调节方法、装置及等离子体产生设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种阻抗匹配调节方法、装置及等离子体产生设备，涉及阻抗匹配技术领域，其中方法包括：确定等离子体腔室的等效阻抗的变化规律的相关参数；获取等离子体腔室当前周期的前半周期的等效阻抗，基于相关参数对等离子体腔室前半周期的等效阻抗进行分析，预测等离子体腔室在后半周期的等效阻抗；在当前周期的前半周期准备结束时，调整阻抗匹配电路的等效阻抗，以使阻抗匹配电路的等效阻抗和等离子体腔室在后半周期预测的等效阻抗之和与射频电源的等效阻抗相匹配；本申请旨在解决由于从检测到调整需要一定的时间，导致阻抗匹配的速度跟不上等离子体产生腔室的等效阻抗的变化的技术问题。
本发明授权一种阻抗匹配调节方法、装置及等离子体产生设备在权利要求书中公布了：1.一种阻抗匹配调节方法，应用于等离子体产生设备，其特征在于，所述等离子体产生设备包括阻抗匹配装置和等离子体腔室，所述阻抗匹配装置包括阻抗匹配电路和射频电源，所述阻抗匹配电路的输入端与射频电源电连接，所述阻抗匹配电路的输出端与所述等离子体腔室电连接，所述方法包括： 确定所述等离子体腔室的等效阻抗的变化规律的相关参数； 获取所述等离子体腔室当前周期的前半周期的等效阻抗，基于所述相关参数对所述等离子体腔室当前周期的前半周期的等效阻抗进行分析，预测所述等离子体腔室在后半周期的等效阻抗； 在当前周期的前半周期准备结束时，调整所述阻抗匹配电路的等效阻抗，以使所述阻抗匹配电路的等效阻抗和所述等离子体腔室在后半周期预测的等效阻抗之和与所述射频电源的等效阻抗相匹配。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋101,201,301；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励