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哈尔滨工业大学刘俭获国家专利权

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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118914201B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411010373.7,技术领域涉及:G01N21/88;该发明授权基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法是由刘俭;刘辰光;华子杰;由小玉设计研发完成,并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法在说明书摘要公布了:本申请公开了一种基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法,涉及共焦显微测量技术领域,该装置包括时变调制照明模块、光学扫描模块、信号采集解调模块、函数发生器和样品台,函数发生器分别与时变调制照明模块和信号采集解调模块连接,分别为时变调制照明模块和信号采集解调模块提供参考信号;样品台用于放置待测样品;时变调制照明模块用于向光学扫描模块发射分数阶涡旋光;光学扫描模块用于将分数阶涡旋光传递到样品台中的待测样品上,将回光信号传递至信号采集解调模块;信号采集解调模块用于采集回光信号,并根据参考信号对回光信号进行暗场共焦探测,得到待测样品的测量信息,本申请可提高测量装置的灵敏度和准确性。

本发明授权基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置,其特征在于,所述基于时变分数阶涡旋解调的暗场共焦显微测量装置包括时变调制照明模块、光学扫描模块、信号采集解调模块、函数发生器和样品台,所述函数发生器分别与所述时变调制照明模块和所述信号采集解调模块连接; 所述函数发生器用于分别为所述时变调制照明模块和所述信号采集解调模块提供参考信号;所述函数发生器提供给所述时变调制照明模块和所述信号采集解调模块的参考信号频率相同; 所述样品台用于放置待测样品; 所述时变调制照明模块用于向所述光学扫描模块发射分数阶涡旋光; 所述时变调制照明模块包括依次设置的激光器、半波片、偏振片、第一非偏振分束器和空间光调制器,所述空间光调制器与所述函数发生器连接;所述激光器发射入射光,所述入射光依次经过所述半波片、所述偏振片和所述第一非偏振分束器后到达所述空间光调制器,所述空间光调制器根据所述参考信号在两张分数阶涡旋相位图片之间进行快速切换,两张所述分数阶涡旋相位图片的相位分布分别为expil1φ和expil2φ和同一闪耀光栅的叠加,其中,φ为空间光调制器的液晶面角向坐标,l1、l2为阶数,满足1-l1=l2-1,|l1|0.5,|l2|0.5,闪耀光栅周期为M,相位图像为灰度图,灰度0-255线性对应0-2π,切换频率大于1kHz,并将所述入射光调制为所述分数阶涡旋光,并将所述分数阶涡旋光传递至所述第一非偏振分束器,所述第一非偏振分束器将所述分数阶涡旋光传递至所述光学扫描模块; 所述光学扫描模块用于将所述分数阶涡旋光传递到所述样品台中的所述待测样品上,以及,当所述分数阶涡旋光在所述待测样品上反射出回光信号后,将所述回光信号传递至所述信号采集解调模块; 所述光学扫描模块包括第二非偏振分束器,所述第二非偏振分束器与所述第一非偏振分束器相对设置; 所述信号采集解调模块用于采集所述回光信号,并根据所述参考信号对所述回光信号进行暗场共焦探测,得到所述待测样品的测量信息,所述测量信息为基于暗场共焦探测得到的所述待测样品有无缺陷的测量结果; 所述信号采集解调模块包括依次设置的光阑、聚焦透镜、针孔、光电倍增管和锁相放大器;所述聚焦透镜与所述第二非偏振分束器相对设置,且所述光阑设置于所述聚焦透镜与所述第二非偏振分束器之间;所述锁相放大器与所述函数发生器连接;所述光阑接收所述第二非偏振分束器传递的所述回光信号,并对所述回光信号进行过滤,保留中心散射光信号,所述中心散射光信号由所述聚焦透镜聚焦至所述针孔,所述光电倍增管将所述中心散射光信号转换为电信号,再将所述电信号传输至所述锁相放大器,所述锁相放大器根据所述参考信号对所述电信号进行解调处理,所述锁相放大器的解调频率与所述空间光调制器切换所述分数阶涡旋相位图片的频率相同,时间常数大于参考信号的周期的2-3倍,得到所述待测样品的测量信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学,其通讯地址为:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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