朗姆研究公司彭东宇获国家专利权
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龙图腾网获悉朗姆研究公司申请的专利包括带有远心透镜的透镜电路、光束折叠组件或多边形扫描仪的原子层蚀刻和沉积处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112385029B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980044981.0，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权包括带有远心透镜的透镜电路、光束折叠组件或多边形扫描仪的原子层蚀刻和沉积处理系统是由彭东宇;云桑·S·金姆;张贺;基思·威尔斯;艾伦·M·舍普设计研发完成，并于2019-05-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本包括带有远心透镜的透镜电路、光束折叠组件或多边形扫描仪的原子层蚀刻和沉积处理系统在说明书摘要公布了：一种衬底处理系统包括：处理室、衬底支撑件、激光器和准直组件。所述衬底支撑件被设置在所述处理室中并且被配置为支撑衬底。所述激光器被配置为产生激光束。所述准直组件包括多个透镜或反射镜，所述多个透镜或反射镜被布置成将所述激光束朝所述衬底引导以加热所述衬底的暴露的材料。所述多个透镜或反射镜被配置成沿在与所述衬底的表面垂直的预定范围内的方向引导所述激光束。
本发明授权包括带有远心透镜的透镜电路、光束折叠组件或多边形扫描仪的原子层蚀刻和沉积处理系统在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理系统，其包括： 处理室； 衬底支撑件，其设置在所述处理室中并且被配置为支撑衬底； 激光器，其被配置为产生激光束； 透镜电路，其包括光束成形光学器件，以将所述激光束从圆形激光束转换为方形激光束；和 包括多个透镜或反射镜的准直组件，所述多个透镜或反射镜被布置成将所述激光束朝所述衬底引导以加热所述衬底的暴露的材料，其中，所述多个透镜或反射镜被配置成沿在与所述衬底的表面垂直的预定范围内的方向引导所述激光束；和 控制器，所述控制器被配置为在蚀刻工艺或沉积工艺期间执行快速热脉冲工艺，所述快速热脉冲工艺包括：i生成控制信号以调制所述激光束，以使所述暴露的材料经受多个热能脉冲，以及ii使得所述暴露的材料能在所述多个热能脉冲中的连续的热能脉冲之间冷却。
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