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龙图腾网获悉上海谦视智能科技有限公司申请的专利一种碳化硅瑕疵检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113406100B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010183629.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种碳化硅瑕疵检测设备是由黄英俊设计研发完成，并于2020-03-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种碳化硅瑕疵检测设备在说明书摘要公布了：本发明实施例公开了一种碳化硅瑕疵检测设备，属于半导体检测技术领域，其技术方案如下，包括支撑架，所述支撑架上设置有载物台与成像装置，成像装置位于载物台上方，所述载物台上设置有通孔，所述支撑架位于成像装置与载物台之间的位置设置有照向载物台的第一光源，所述支撑架位于载物台下方的位置设置有照向载物台透射光源；所述支撑架位于透射光源的下方的位置还设置有照向载物台的偏振光源，所述支撑架位于成像装置下方的位置设置有验偏器，所述验偏器可转动并脱离成像装置的正下方，以解决现有技术中由于利用肉眼直接观测该碳化硅衬底片是否存在瑕疵，检测相对比较费力，且不够准确的问题。

本发明授权一种碳化硅瑕疵检测设备在权利要求书中公布了：1.一种碳化硅瑕疵检测设备，其特征是：包括支撑架，所述支撑架上设置有载物台与成像装置，成像装置位于载物台上方，所述载物台上设置有通孔，所述支撑架位于成像装置与载物台之间的位置设置有照向载物台的第一光源，所述支撑架位于载物台下方的位置设置有照向载物台透射光源； 所述支撑架位于透射光源的下方的位置还设置有照向载物台的偏振光源，所述支撑架位于成像装置下方的位置设置有验偏器，所述验偏器位于成像装置与第一光源之间，所述验偏器可转动并脱离成像装置的正下方，其中， 所述载物台为透明材料制成，所述碳化硅以碳化硅衬底片的形式设置于所述载物台上，所述碳化硅衬底片为半透明晶体； 所述第一光源包括设置到支撑架上的第一连接臂，所述第一连接臂上设置第一发光灯，且在第一连接臂远离支撑架的一端固定有第一安装框架，所述第一安装框架上下贯通，且朝向第一发光灯的一侧设有开孔，所述第一安装框架内倾斜的设置有第一半反射镜，所述第一半反射镜的镜面与载物台表面呈45度角，且第一半反射镜上端与开孔的截面呈45度角； 所述透射光源包括设置到支撑架下端的第二连接臂，所述第二连接臂上固定有第二发光灯，且第二连接臂远离支撑架的一端设置有第二安装框架，所述第二安装框架上下贯通，且朝向第二发光灯的一侧设有孔，所述第二安装框架内倾斜的设有第二半反射镜，所述第二半反射镜的镜面下端与载物台表面呈45度角，且第二半反射镜上端与孔的截面呈45度角； 所述偏振光源包括设置到支撑架上的第三连接臂，所述第三连接臂远离支撑架的一端固定有第三发光灯，所述第三连接臂端部固定有第一偏振片，所述第一偏振片位于第三发光灯正上方，所述第三连接臂可移动使第一偏振片移动到其他位置； 所述验偏器包括设置到支撑架上的第四连接臂，所述第四连接臂上设置有第二偏振片，所述第四连接臂可移动使第二偏振片移动到成像装置的正下方。

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