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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利一种非接触式传输装置及非接触式传输方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115249631B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110470246.5，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种非接触式传输装置及非接触式传输方法是由刘凯设计研发完成，并于2021-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种非接触式传输装置及非接触式传输方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种非接触式传输装置及非接触式传输方法。所述非接触式传输装置包括空间位置调整机构、片叉和垂向运动机构，垂向运动机构包括检测组件，片叉可升降地设置在空间位置调整机构的输出端上；检测组件与空间位置调整机构通讯连接，用于检测片叉上的工件是否与工件台接触，空间位置调整机构能够根据检测组件的检测结果控制其输出端运动或停止运动。片叉能够相对于空间位置调整机构的输出端升降，然后通过检测组件检测并传递信号，便于空间位置调整机构及时调整，避免工件与工件台之间的作用力过大而损坏工件，从而可降低交接高度，提高交接精度。

本发明授权一种非接触式传输装置及非接触式传输方法在权利要求书中公布了：1.一种非接触式传输装置，包括空间位置调整机构（1）和片叉（2），所述空间位置调整机构（1）用于调整所述片叉（2）的位置，所述片叉（2）用于吸附工件（100），其特征在于，所述非接触式传输装置还包括垂向运动机构（3），所述片叉（2）可升降地设置在所述空间位置调整机构（1）的输出端，所述垂向运动机构（3）包括： 检测组件（32），与所述空间位置调整机构（1）通讯连接，用于检测所述片叉（2）上的工件（100）是否与工件台（200）接触，所述空间位置调整机构（1）能够根据所述检测组件（32）的检测结果控制其输出端运动或停止运动； 所述检测组件（32）包括感应单元（321）和触发件（322），所述触发件（322）能够触发所述感应单元（321），所述空间位置调整机构（1）能够根据所述感应单元（321）的触发状态或未触发状态控制其输出端运动或停止运动； 所述感应单元（321）能够与所述片叉（2）同步升降并能够相对于所述触发件（322）升降，以检测所述片叉（2）上的工件（100）是否与工件台（200）接触；或，所述触发件（322）能够与所述片叉（2）同步升降并能够相对于所述感应单元（321）升降，以检测所述片叉（2）上的工件（100）是否与工件台（200）接触； 所述垂向运动机构（3）还包括转接组件（31），所述转接组件（31）可升降地设置在所述空间位置调整机构（1）的输出端上，所述片叉（2）固定在所述转接组件（31）上，所述感应单元（321）和所述触发件（322）两个中的一个固定在所述转接组件（31）上，另一个固定在所述空间位置调整机构（1）的输出端上。

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