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龙图腾网获悉哈尔滨工业大学申请的专利基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118914199B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411010366.7，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置是由刘俭;刘辰光;华子杰;由小玉设计研发完成，并于2024-07-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，涡旋光产生模块用于产生预定阶数的涡旋光，涡旋光干涉模块用于将涡旋光分为参考光和成像光，利用成像光照射待测样品的扫描位置，得到扫描位置的样品反射光，并使参考光和样品反射光进行重合干涉，得到干涉光，干涉光的光斑为花瓣状，旋转解调模块用于对干涉光进行旋转解调，得到扫描位置的振幅和相位信息，从而可表征缺陷的振幅和相位信息，实现相位型缺陷的检测。

本发明授权基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置在权利要求书中公布了：1.一种基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置，其特征在于，所述基于涡旋干涉的暗场共焦显微测量装置包括： 涡旋光产生模块，用于产生预定阶数的涡旋光； 涡旋光干涉模块，用于将所述涡旋光分为参考光和成像光，利用所述成像光照射待测样品的扫描位置，得到所述扫描位置的样品反射光，并使所述参考光和所述样品反射光进行重合干涉，得到干涉光；所述待测样品为三维集成电路；所述参考光和所述样品反射光的阶数相反；所述干涉光的光斑为花瓣状；当扫描位置存在缺陷时，会对成像光产生振幅调制和相位调制，相位调制导致具有花瓣状光斑的干涉光的对称轴旋转，振幅调制导致具有花瓣状光斑的干涉光的明暗相对强度改变； 旋转解调模块，用于对所述干涉光进行旋转解调，得到所述扫描位置的振幅和相位信息； 所述涡旋光干涉模块包括： 第一非偏振分束器，用于将所述涡旋光分为参考光和成像光，并将所述成像光透射至第二非偏振分束器，将所述参考光反射至参考光处理单元； 第二非偏振分束器，用于将所述成像光入射至样品扫描单元； 所述样品扫描单元，用于利用所述成像光照射待测样品的扫描位置，得到所述扫描位置的样品反射光，并将所述样品反射光入射至所述第二非偏振分束器； 参考光处理单元，用于对所述参考光进行多次反射，并将多次反射后的出射光入射至所述第二非偏振分束器；所述参考光处理单元包括：按照光线传播方向依次布置的第一反射镜、可调光衰减器和第二反射镜； 所述第二非偏振分束器还用于将所述参考光透射至旋转解调模块，将所述样品反射光反射至旋转解调模块，使所述参考光的透射光和所述样品反射光的反射光进行重合干涉，得到干涉光； 所述旋转解调模块包括：信号发生器、斩波器驱动件、锁相放大器以及按照光线传播方向依次布置的第三非偏振分束器、斩波器、聚焦透镜、针孔和光电探测器； 所述信号发生器分别与所述斩波器驱动件和所述锁相放大器信号连接；所述信号发生器用于向所述斩波器驱动件和所述锁相放大器传输控制信号； 所述斩波器驱动件用于基于所述控制信号，驱动所述斩波器旋转；所述斩波器用于对所述第三非偏振分束器的透射光进行斩波，使得光强出现周期变化，得到斩波光； 所述锁相放大器与所述光电探测器信号连接；所述锁相放大器用于以所述光电探测器输出的电信号作为输入信号，以所述控制信号作为参考信号，对所述输入信号进行解调，得到所述扫描位置的振幅和相位信息。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人哈尔滨工业大学，其通讯地址为：150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。