江苏集芯先进材料有限公司李远田获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏集芯先进材料有限公司申请的专利碳化硅晶体生长热场结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223342870U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422633144.2,技术领域涉及:C30B29/36;该实用新型碳化硅晶体生长热场结构是由李远田设计研发完成,并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本碳化硅晶体生长热场结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长热场结构,包括坩埚、分隔部件、排气组件和保温筒,坩埚内设置有安装环,安装环紧贴坩埚内侧;分隔部件包括多个隔板,隔板上设有通气孔,多个隔板从上至下间隔安装在坩埚内部,将坩埚内部限定出多个原料空间,从最底层隔板至次顶层隔板被腐蚀后能够断裂下沉;原料空间内盛放有碳化硅粉,且越靠近晶体生长界面的原料空间,其内部的碳化硅粉粒径越小、纯度越高;排气组件盖在坩埚上部,排气组件内部顶壁安装有籽晶;保温筒包裹在坩埚外侧,且保温筒顶壁与排气组件顶壁具有设定间隙。本实用新型能够解决PVT法中碳化硅粉源的有效利用及晶体生长面型较凹的问题。
本实用新型碳化硅晶体生长热场结构在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅晶体生长热场结构,其特征在于,包括 坩埚; 分隔部件,所述分隔部件包括多个隔板,所述隔板上设有通气孔,多个所述隔板从上至下间隔安装在所述坩埚内部,将所述坩埚内部限定出多个原料空间,从最底层所述隔板至次顶层所述隔板被腐蚀后能够断裂下沉;所述原料空间内盛放有碳化硅粉,且越靠近晶体生长界面的原料空间,其内部的碳化硅粉,粒径越小、纯度越高; 排气组件,所述排气组件盖在坩埚上部,所述排气组件内部顶壁安装有籽晶; 保温筒,所述保温筒包裹在所述坩埚外侧,且所述保温筒与排气组件顶壁具有设定间隙。
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