苏州芯轮半导体科技有限公司张磊获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州芯轮半导体科技有限公司申请的专利一种晶圆清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347745U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422651792.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆清洗装置是由张磊;温鹏飞;朱伟明设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆清洗装置，包括清洗箱和清洗篮，所述清洗篮两端固定连接有稳定板，稳定板一端开有多个限位槽，限位槽一端滑动连接有夹持杆一和夹持杆二，夹持杆一和夹持杆二两端分别转动连接有滚轮，清洗篮一端固定连接有夹持电机，夹持电机动力输出端固定连接有驱动板，驱动板一端活动连接于滚轮，夹持电机一端固定连接有支撑台一；通过夹持电机带动驱动板转动，当驱动板弧形凸台最外侧挤压到滚轮边缘时可以让对应位置的夹持杆一和夹持杆二向外滑动不再夹持晶圆，而移动到弧形凹槽处的夹持杆一和夹持杆二可以夹持住晶圆进行清洗时的固定，在进行清洗时可以轮流对晶圆不同位置进行夹持，这样可以避免晶圆上有一直被覆盖的清洗死角。
本实用新型一种晶圆清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗装置，包括清洗箱1和清洗篮6，其特征在于：所述清洗篮6两端固定连接有稳定板9，稳定板9一端开有多个限位槽23，限位槽23一端滑动连接有夹持杆一10和夹持杆二11，夹持杆一10和夹持杆二11两端分别转动连接有滚轮17，清洗篮6一端固定连接有夹持电机12，夹持电机12动力输出端固定连接有驱动板14，驱动板14一端活动连接于滚轮17。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯轮半导体科技有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市吴中经济开发区吴中大道1183号30幢1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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