华海清科股份有限公司吴云龙获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利抛光机构和抛光模组获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223339159U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422645768.6，技术领域涉及：B24B37/26；该实用新型抛光机构和抛光模组是由吴云龙;靳富设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光机构和抛光模组在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种抛光机构和抛光模组。抛光机构包括支撑体，开设有至少两个沿周向均匀分布的长条形通孔，各长条形通孔的轴线均通过支撑体的中心；至少两个抛光头，一一对应且可移动地设置于各长条形通孔；第一驱动机构，装设于支撑体且与各抛光头电连接，用于驱动各抛光头旋转并同时沿着长条形通孔往复移动。本申请中各抛光头沿着长条形通孔进行往复移动，使得抛光头在抛光操作过程中可沿着抛光垫的径向，即沿着用于容纳抛光液的环形沟槽的径向进行往复移动，使得每个抛光头都能够与抛光液充分接触，从而实现更加高效的抛光效果，特别是对于第三代半导体材料制成的晶圆而言，这种抛光方式显著提升了抛光效率。
本实用新型抛光机构和抛光模组在权利要求书中公布了：1.一种抛光机构，用于将晶圆抵压至抛光垫进行抛光，其特征在于，包括： 支撑体，开设有至少两个沿周向均匀分布的长条形通孔，并且，各所述长条形通孔的轴线均通过所述支撑体的中心； 至少两个抛光头，一一对应且可移动地设置于各所述长条形通孔； 第一驱动机构，装设于所述支撑体且与各所述抛光头相连接，用于驱动各所述抛光头旋转并同时沿着所述长条形通孔往复移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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