华海清科股份有限公司杨易获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科股份有限公司申请的专利抛光头和抛光设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223339155U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422645648.6，技术领域涉及：B24B37/04；该实用新型抛光头和抛光设备是由杨易;刘鑫博;程子政;李润豪设计研发完成，并于2024-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光头和抛光设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种抛光头和抛光设备，该抛光头包括：基座；保持环，设置于基座下方；抛光头气膜，设置于基座且置于保持环内侧，用于固持晶圆；保持环气膜，设置于保持环内侧且置于保持环和抛光头气膜之间，保持环气膜加压膨胀时与晶圆的边缘相接触，以对晶圆的边缘施加作用力，作用力在晶圆的边缘形成径向夹紧力和轴向下压力。本申请通过保持环气膜对晶圆的边缘施加径向夹紧力和轴向下压力，该径向夹紧力可夹持晶圆，防止晶圆在抛光过程中移动，减低了滑片的风险；该轴向下压力可在晶圆抛光过程中对晶圆的边缘施加压紧力，可以更精准地控制晶圆边缘的抛光效果，保证了整个晶圆表面的抛光一致性。
本实用新型抛光头和抛光设备在权利要求书中公布了：1.一种抛光头，用于将晶圆抵压至抛光垫进行抛光处理，其特征在于，包括： 基座； 保持环，设置于所述基座下方； 抛光头气膜，设置于所述基座且置于所述保持环内侧，用于固持晶圆； 保持环气膜，设置于所述保持环内侧且置于所述保持环和所述抛光头气膜之间，所述保持环气膜加压膨胀时与所述晶圆的边缘相接触，以对所述晶圆的边缘施加作用力，所述作用力在所述晶圆的边缘形成径向夹紧力和轴向下压力。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华海清科股份有限公司，其通讯地址为：300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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