东莞市晟鼎精密仪器有限公司莫国健获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利一种快速退火炉晶圆对中装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347759U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422661401.3，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种快速退火炉晶圆对中装置是由莫国健;黄嘉伦;侯振健设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种快速退火炉晶圆对中装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种快速退火炉晶圆对中装置，属于晶圆加工技术领域，包括安装底板，所述安装底板的上方设置有晶圆本体，所述安装底板顶部的两侧均固定安装有推进气缸；本实用新型通过限位槽的设置，对晶圆本体进行对中的时候晶圆本体首先会放置于限位槽的内腔，然后使用者可通过推进气缸带动两组限位板向内移动，进而通过限位槽内腔的弧形部对晶圆本体的两侧进行夹紧固定，从而完成对晶圆本体的对中操作，通过本装置的设置，具备通过推进气缸以及配套硬件以及感应器等组成简便的对中装置，显著降低了晶圆对中装置的使用成本，且可灵活配合实际设备结构设计安装位置，可节省设备内部使用空间的优点。
本实用新型一种快速退火炉晶圆对中装置在权利要求书中公布了：1.一种快速退火炉晶圆对中装置，包括安装底板（1），其特征在于：所述安装底板（1）的上方设置有晶圆本体（2），所述安装底板（1）顶部的两侧均固定安装有推进气缸（3），所述推进气缸（3）的伸缩端通过连接组件安装固定有移动板（4），所述移动板（4）的顶部固定安装有限位板（5），所述晶圆本体（2）通过两组所述限位板（5）限位固定于所述安装底板（1）的上方，所述安装底板（1）的顶部且位于晶圆本体（2）的正下方开设有安装槽（6），所述安装槽（6）内腔的底部固定连接有感应器（7）。
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