昆山日月同芯半导体有限公司朱赛江获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山日月同芯半导体有限公司申请的专利一种晶圆曝光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347200U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422668099.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种晶圆曝光装置是由朱赛江;胡明翊;简永幸;张雷设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆曝光装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆曝光技术领域，公开了一种晶圆曝光装置，包括底座，所述底座上固定安装有支撑架，所述支撑架的一端底部固定安装有用于晶圆PI曝光的曝光管，所述底座上有用于固定晶圆的晶圆盘组件，所述曝光管上套设有用于对晶圆PI边缘无效区域进行二次曝光的曝光组件，所述曝光组件上设有能够将曝光组件进行任意位置固定的固定组件；通过设置曝光组件和固定组件，当晶圆PI第一次使用曝光管进行整体曝光以后，滑动曝光组件使用固定组件进行固定，然后开启曝光组件就可以对晶圆的边缘无效区域进行二次曝光，使得无效区的PI无法被显影液显开，保持边缘的平整，这样在进行厚胶PR涂布的时候就不会进入PI的缺口。
本实用新型一种晶圆曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆曝光装置，包括底座1，所述底座1上固定安装有支撑架2，所述支撑架2的一端底部固定安装有用于晶圆PI曝光的曝光管3，所述底座1上有用于固定晶圆的晶圆盘组件4，其特征在于，所述曝光管3上套设有用于对晶圆PI边缘无效区域进行二次曝光的曝光组件，所述曝光组件上设有能够将曝光组件进行任意位置固定的固定组件，所述曝光组件包括滑动套设在曝光管3圆周面上的滑动环501和固定安装在滑动环501一侧并与曝光管3滑动配合的曝光环502。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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