北京北方华创微电子装备有限公司宋新丰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利循环装置、装卸载腔室和半导体工艺设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422680565.0，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型循环装置、装卸载腔室和半导体工艺设备是由宋新丰;李洪利设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本循环装置、装卸载腔室和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种循环装置、装卸载腔室和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域。循环装置包括进风通道、连通通道、热交换器、风机、出风通道和多个循环风扇，其中，所述进风通道通过所述连通通道与所述热交换器连通，所述热交换器与所述风机的进气口连通，所述风机的排气口与所述出风通道连通，所述出风通道朝向所述承载舟的一侧设有出风口，且所述出风口沿所述装卸载腔室的高度方向延伸，多个所述循环风扇均安装于所述出风通道中，且均朝向所述出风口，各所述循环风扇的风速均可调。上述循环装置对承载舟上不同高度位置处的晶圆的冷却均匀性相对较好，进而可以提升工艺效率。
本实用新型循环装置、装卸载腔室和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种循环装置，应用于装卸载腔室，所述装卸载腔室可容纳承载舟，其特征在于，所述循环装置包括进风通道、连通通道、热交换器、风机、出风通道和多个循环风扇，其中， 所述进风通道通过所述连通通道与所述热交换器连通，所述热交换器与所述风机的进气口连通，所述风机的排气口与所述出风通道连通，所述出风通道朝向所述承载舟的一侧设有出风口，且所述出风口沿所述装卸载腔室的高度方向延伸，多个所述循环风扇均安装于所述出风通道中，且均朝向所述出风口，各所述循环风扇的风速均可调。
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