亚芯半导体材料(江苏)有限公司陈光获国家专利权
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龙图腾网获悉亚芯半导体材料(江苏)有限公司申请的专利一种具有冷喷涂结构的靶材喷涂装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223342818U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422670497.X，技术领域涉及：C23C24/04；该实用新型一种具有冷喷涂结构的靶材喷涂装置是由陈光;陈凌鹏;程其兵设计研发完成，并于2024-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种具有冷喷涂结构的靶材喷涂装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种具有冷喷涂结构的靶材喷涂装置，包括：储粉罐、喷涂组件以及运行组件，储粉罐通过输送管与喷涂组件相连接，喷涂组件的上侧表面安装有运行组件，储粉罐的上侧表面安装有罐盖，喷涂组件包括：底架以及喷涂平台，底架的上侧表面安装有控制箱,与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置喷涂组件，在使用的时候，喷涂组件搭配运行组件实现冷喷涂，冷喷涂过程中，粉末颗粒主要依靠高速粒子的动能沉积在靶材表面，颗粒温度在撞击前不会被加热到材料熔点以上，热喷涂可能会改变材料的晶体结构或电学性能，而冷喷涂能够避免这种热损伤，确保材料的原有性能不受影响，从而维持靶材在电子设备中的良好性能。
本实用新型一种具有冷喷涂结构的靶材喷涂装置在权利要求书中公布了：1.一种具有冷喷涂结构的靶材喷涂装置，包括：储粉罐100、喷涂组件以及运行组件，其特征在于，所述储粉罐100通过输送管120与喷涂组件相连接，所述喷涂组件的上侧表面安装有运行组件，所述储粉罐100的上侧表面安装有罐盖110； 所述喷涂组件包括：底架200以及喷涂平台240，所述底架200的上侧表面安装有控制箱230，所述控制箱230的侧边通过底架200安装有喷涂平台240，所述底架200的上侧表面安装有泵机210以及高压气体件220； 所述运行组件包括：丝杆电机一、龙门架310以及喷头件320，所述喷涂平台240的上侧表面通过丝杆电机一滑动安装有龙门架310，所述龙门架310内部通过丝杆电机二滑动安装有喷头件320，所述喷头件320通过软管与高压气体件220相连接。
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