泉芯半导体科技(无锡)有限公司欧阳小泉获国家专利权
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龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种一体式除静电装置及晶圆处理机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223348833U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422700997.3，技术领域涉及：H05F3/04；该实用新型一种一体式除静电装置及晶圆处理机是由欧阳小泉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种一体式除静电装置及晶圆处理机在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种一体式除静电装置，其包括壳体、除静电组件和供气组件，除静电组件和供气组件安装在所述壳体内，除静电组件包括高压电源发生器和两个离子针，两个离子针间隔设置在壳体上，两个离子针的放电端伸入晶圆处理筒的腔体中，供气组件包括高压气源、气道和气腔。上述一体式除静电装置通过一体式结构，将壳体、除静电组件和供气组件安装在晶圆处理筒上，实现了直接将正负离子吹入晶圆处理筒的腔体内，进而中和晶圆处理筒的腔体中的静电，无需通过气管即可完成正负离子的吹入，避免了因气管被腐蚀产生的颗粒物对晶圆处理筒内的晶圆的处理造成影响。
本实用新型一种一体式除静电装置及晶圆处理机在权利要求书中公布了：1.一种一体式除静电装置，其特征在于，所述一体式除静电装置包括壳体、除静电组件和供气组件，其中： 所述除静电组件和供气组件安装在所述壳体内，所述壳体可拆装地安装在晶圆处理筒的外壁上； 所述除静电组件包括高压电源发生器和两个离子针，所述两个离子针间隔设置在所述壳体上，所述两个离子针的放电端伸入所述晶圆处理筒的腔体中，所述高压电源发生器与所述两个离子针电连接，以使得所述两个离子针的放电端的高压电晕放电把空气电离为大量正负离子； 所述供气组件包括高压气源、气道和气腔，所述气道的第一端通过管路连接所述高压气源，所述气道的第二端与所述气腔连通，每个所述离子针与所述壳体之间形成所述气腔，所述高压气源经气道后流入所述气腔，以将所述离子针产生的正负离子吹入所述晶圆处理筒的腔体中，进而中和所述晶圆处理筒的腔体中的静电。
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