泉芯半导体科技(无锡)有限公司欧阳小泉获国家专利权
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龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种电机的防护结构及晶圆处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223348461U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422706762.5,技术领域涉及:H02K5/04;该实用新型一种电机的防护结构及晶圆处理装置是由欧阳小泉设计研发完成,并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种电机的防护结构及晶圆处理装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种电机的防护结构及晶圆处理装置,其包括电机和第一防护罩,电机的固定端安装在晶圆处理筒上,电机的驱动端伸入晶圆处理筒内并连接旋转件;第一防护罩密封安装在电机的外围,第一防护罩内设置有送气口,通过送气口往第一防护罩内送入气体,以使得第一防护罩内形成避免外部的气体进入第一防护罩内的正压。上述电机的防护结构通过在第一防护罩上开设送气口,第一防护罩密封安装在电机的外围,通过送气口往第一防护罩内送入气体,使得第一防护罩内形成避免外部的气体进入第一防护罩内的正压,能够有效避免挥发后的清洗药液沾到电机的表面,大大提高了电机的使用寿命。
本实用新型一种电机的防护结构及晶圆处理装置在权利要求书中公布了:1.一种电机的防护结构,其特征在于,所述电机的防护结构包括电机和第一防护罩,其中: 所述电机的固定端安装在晶圆处理筒上,所述电机的驱动端伸入所述晶圆处理筒内并连接旋转件; 所述第一防护罩密封安装在所述电机的外围,所述第一防护罩内设置有送气口,通过所述送气口往所述第一防护罩内送入气体,以使得所述第一防护罩内形成避免外部的气体进入所述第一防护罩内的正压。
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