泉芯半导体科技(无锡)有限公司欧阳小泉获国家专利权
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龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种可推拉式晶圆处理筒安装结构及晶圆处理机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422704277.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种可推拉式晶圆处理筒安装结构及晶圆处理机是由欧阳小泉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可推拉式晶圆处理筒安装结构及晶圆处理机在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种可推拉式晶圆处理筒安装结构及晶圆处理机，安装结构包括机架、移动座和锁定组件，移动座上固定安装有处理筒组件，处理筒组件用于对处理筒内的晶圆按照预设工艺实施处理；移动座往复移动地安装在机架上，以将处理筒组件移至工作位置或操作位置，工作位置位于机架内，操作位置位于机架外；锁定组件用于将处于工作位置的移动座固定在机架上。上述可推拉式晶圆处理筒安装结构通过机架、移动座和锁定组件的配合，移动座可沿第一方向往复移动地安装在机架上，将处理筒组件移至工作位置或操作位置，锁定组件将处于工作位置的移动座固定在机架上，需要取放料或者维修时，只需操作人员将移动座由工作位置移拖至操作位置即可进行后续操作，操作方便。
本实用新型一种可推拉式晶圆处理筒安装结构及晶圆处理机在权利要求书中公布了：1.一种可推拉式晶圆处理筒安装结构，其特征在于，所述可推拉式晶圆处理筒安装结构包括机架、移动座和锁定组件，其中： 所述移动座上固定安装有处理筒组件，所述处理筒组件被配置为对所述处理筒组件的处理筒内的晶圆按照预设工艺实施处理； 所述移动座可沿第一方向往复移动地安装在所述机架上，以将所述处理筒组件移至工作位置或操作位置，所述工作位置位于所述机架内，所述操作位置位于所述机架外； 所述锁定组件被配置为将处于所述工作位置的所述移动座固定在所述机架上。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人泉芯半导体科技(无锡)有限公司，其通讯地址为：214000 江苏省无锡市惠山经济开发区华清创智园14-401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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