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龙图腾网获悉西安稀有金属材料研究院有限公司申请的专利气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223342814U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422711783.6，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型气相沉积装置是由郭瑞;牧骞;李阳;刘嫣然;史永宏;霍静静;赵敬;彭嘉鑫;阮方毅设计研发完成，并于2024-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。

本气相沉积装置在说明书摘要公布了：本公开提供一种气相沉积装置，涉及传感电极制造领域。沉积装置包括储液罐、第一导气管、反应罐、第二导气管及加热装置，储液罐包括储液罐壳体、第一进气口和第一出气口，储液罐壳体内设有聚合物单体；第一导气管的一端与第一进气口连接，且第一导气管能沿第一进气口上下移动；第一导气管的另一端与载气供气装置的出气口连通；反应罐包括反应罐壳体及设于反应罐壳体内的置物架，置物架包括置物框架及置物板，置物板用于放置待修饰电极片；反应罐壳体顶部设有第二进气口，底部设有第二出气口；第二导气管一端与第一出气口连通，另一端与第二进气口连通；储液罐和反应罐设于加热装置内，加热装置用于向储液罐及反应罐加热，以使聚合物单体汽化。

本实用新型气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种气相沉积装置，其特征在于，包括： 储液罐，包括储液罐壳体及设于所述储液罐壳体顶部的第一进气口和第一出气口，所述储液罐壳体内设有待沉积聚合物单体液体； 第一导气管，一端通过所述第一进气口深入至所述储液罐壳体内，且所述第一导气管的端部能沿所述第一进气口上下移动，以使所述第一导气管的端部伸入所述待沉积聚合物单体液体内或使其位于所述待沉积聚合物单体液体上部；所述第一导气管的另一端与载气供气装置的出气口连通； 反应罐，包括反应罐壳体及设于所述反应罐壳体内的置物架，所述置物架包括置物框架以及设于所述置物框架上的置物板，所述置物板用于放置待修饰电极片；所述反应罐壳体顶部设有第二进气口，所述反应罐壳体的侧壁底部设有第二出气口； 第二导气管，一端与所述第一出气口连通，另一端与所述第二进气口连通； 加热装置，所述储液罐和所述反应罐设于所述加热装置内，所述加热装置用于向所述储液罐及所述反应罐加热，以使所述待沉积聚合物单体液体汽化及促进其在电极表面聚合。

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