北京华卓精科科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利一种键合腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347760U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422725764.9，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种键合腔室是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2024-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种键合腔室在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种键合腔室，涉及半导体设备技术领域，为解决现有键合腔室所使用的调平机构，调平操作不便且耗时的问题而设计。该键合腔室包括腔室本体、上压盘、下压盘、压力轴组件和调平机构，调平机构包括调平支座和多个调平螺钉，调平支座位于压力轴组件与上压盘之间，调平支座与压力轴组件相连，调平支座与上压盘两者中的一者设置有凸球面，调平支座与上压盘两者中的另一者设置有与凸球面配合的凹球面，各调平螺钉穿过调平支座并螺纹连接于上压盘；腔室本体的上壁开设有多个调平孔，多个调平孔分别与多个调平螺钉一一对应地设置，调平孔可开闭地安装有盖板组件。本实用新型调平操作方便快速。
本实用新型一种键合腔室在权利要求书中公布了：1.一种键合腔室，包括腔室本体100、上压盘200、下压盘300、压力轴组件400和调平机构500，所述上压盘200和所述下压盘300相对且间隔地设置在所述腔室本体100内部，所述压力轴组件400伸入所述腔室本体100；其特征在于，所述调平机构500包括调平支座510和多个调平螺钉520，所述调平支座510位于所述压力轴组件400与所述上压盘200之间，所述调平支座510与所述压力轴组件400相连，所述调平支座510与所述上压盘200两者中的一者设置有凸球面，所述调平支座510与所述上压盘200两者中的另一者设置有与所述凸球面配合的凹球面，各所述调平螺钉520穿过所述调平支座510并螺纹连接于所述上压盘200；所述腔室本体100的上壁开设有多个调平孔111，多个所述调平孔111分别与多个所述调平螺钉520一一对应地设置，所述调平孔111可开闭地安装有盖板组件600。
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