成都路维光电科技有限公司王斌获国家专利权
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龙图腾网获悉成都路维光电科技有限公司申请的专利一种用于掩膜版缺陷检查的夹紧结构、自动光学检查机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223346731U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422740747.2，技术领域涉及：G01N21/01；该实用新型一种用于掩膜版缺陷检查的夹紧结构、自动光学检查机是由王斌;蒋戚洲;孙多卫;郑宇辰设计研发完成，并于2024-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于掩膜版缺陷检查的夹紧结构、自动光学检查机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于掩膜版缺陷检查的夹紧结构、自动光学检查机，夹紧结构包括夹爪和夹块，所述夹爪与夹块相连接，所述夹块与待检掩膜版相接触的一面为斜面，所述斜面与待检掩膜版的平面之间具有夹角，所述夹角为锐角。本实用新型将夹块与掩膜版的接触面设计为带角度的斜面，通过更换不同角度的斜面夹块来给予掩膜版在固定过程中不同程度的形变受力自适应能力，以达到减小掩膜版图形形变、减少AOI扫描误检率的目的。
本实用新型一种用于掩膜版缺陷检查的夹紧结构、自动光学检查机在权利要求书中公布了：1.一种用于掩膜版缺陷检查的夹紧结构，其特征在于，包括夹爪4和夹块5，所述夹爪4与夹块5相连接，所述夹块5与待检掩膜版相接触的一面为斜面，所述斜面与待检掩膜版的平面之间具有夹角，所述夹角为锐角。
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