麦斯塔微电子(深圳)有限公司李岩岩获国家专利权
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龙图腾网获悉麦斯塔微电子(深圳)有限公司申请的专利一种MEMS谐振器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223348642U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422782349.7，技术领域涉及：H03H9/205；该实用新型一种MEMS谐振器是由李岩岩;谢国伟;杨丹;舒赟翌设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS谐振器在说明书摘要公布了：本申请提供一种MEMS谐振器，MEMS谐振器具有用于固定的锚固件、用于振动的谐振主体以及连接梁，谐振主体与锚固件间隔设置且设置于锚固件的周侧，其中，锚固件上设置有朝向锚固件内部凹陷的凹槽，至少部分连接梁通过延伸入凹槽中与凹槽的壁面连接，以将谐振主体与锚固件连接。在本申请中，通过在锚固件上设置凹槽结构，且连接梁于该凹槽处与锚固件连接，连接梁至少部分深入凹槽，使得当MEMS谐振器振动时，通过凹槽可将从连接梁辐射出的能量给反射回来，减小锚点损耗，提高了Q值。
本实用新型一种MEMS谐振器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS谐振器，所述MEMS谐振器具有用于固定的锚固件、用于振动的谐振主体以及连接梁，所述谐振主体与所述锚固件间隔设置且设置于所述锚固件的周侧，其特征在于，所述锚固件上设置有朝向所述锚固件内部凹陷的凹槽，至少部分所述连接梁通过延伸入所述凹槽中与所述凹槽的壁面连接，以将所述谐振主体与所述锚固件连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人麦斯塔微电子(深圳)有限公司，其通讯地址为：518049 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园1栋401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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