深圳市矩阵多元科技有限公司孙守祥获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利真空样品台的偏压结构及磁控溅射镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223342810U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422767789.5，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型真空样品台的偏压结构及磁控溅射镀膜设备是由孙守祥;凌日康;张晓军;舒云雄设计研发完成，并于2024-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本真空样品台的偏压结构及磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种真空样品台的偏压结构及磁控溅射镀膜设备，涉及真空磁控溅射镀膜技术领域，包括转动组件、接电组件和固定组件，转动组件具有用于安装基片的安装台，转动组件能够转动和升降活动，能够实现基片的加工过程；接电组件包括相互导通的导电杆和导电块，导电杆连接于射频电源的负极，射频电源的负压加载在导电块上能够在基片下表面形成交变电场，从而能够产生可轰击基片的等离子体，实现对基片进行清洗和打磨，有助于提高金属离子对基片的附着力；连接有射频电源的负压的导电块能够进一步吸引金属离子沉积在基片表面，提高沉积效率，从而实现提高产品质量和生产效率。
本实用新型真空样品台的偏压结构及磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.真空样品台的偏压结构，其特征在于，包括： 转动组件，具有安装台和第一安装管，所述安装台置于所述第一安装管的末端并安装有基片； 接电组件，包括相互导通的导电杆和导电块，所述导电块位于所述安装台上部，所述导电杆连接于射频电源的负极，所述导电杆的径向外周壁上套设有绝缘管套； 固定组件，包括固定安装的第二安装管和绝缘块，所述导电块固定安装于所述绝缘块上，所述导电杆位于所述第二安装管内，所述转动组件能够绕所述第二安装管的轴线转动，同时所述转动组件能够沿所述第二安装管的轴线升降活动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市矩阵多元科技有限公司，其通讯地址为：518131 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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