广州增芯科技有限公司代效效获国家专利权
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龙图腾网获悉广州增芯科技有限公司申请的专利一种晶圆冷却装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223347750U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422781014.3，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆冷却装置是由代效效设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆冷却装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种晶圆冷却装置，包括冷却腔体和抽气装置，所述冷却腔体内用于存放晶圆；所述冷却腔体的腔壁包括内腔壁和外腔壁，所述内腔壁和外腔壁之间设有用于进行热交换的第一气体通道和第一冷却液通道，所述冷却腔体的外腔壁上设有冷却液入口、冷却液出口和气体入口，所述冷却液入口和所述冷却液出口分别与所述第一冷却液通道连通；所述冷却腔体的内腔壁上设有气体出口，所述气体入口和所述气体出口分别与所述第一气体通道连通；所述抽气装置与所述冷却腔体内部连通，用于对所述冷却腔体内部进行抽气。本实用新型通过冷却液、冷却气体和负压抽风相结合的冷却方式对晶圆进行降温，可以大大缩短了晶圆的冷却时间，进而可以提高了冷却效率。
本实用新型一种晶圆冷却装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆冷却装置，其特征在于，包括：冷却腔体和抽气装置，所述冷却腔体内用于存放晶圆； 所述冷却腔体的腔壁包括内腔壁和外腔壁，所述内腔壁和所述外腔壁之间设有用于进行热交换的第一气体通道和第一冷却液通道，所述冷却腔体的外腔壁上设有冷却液入口、冷却液出口和气体入口，所述冷却液入口和所述冷却液出口分别与所述第一冷却液通道连通；所述冷却腔体的内腔壁上设有气体出口，所述气体入口和所述气体出口分别与所述第一气体通道连通； 所述抽气装置与所述冷却腔体内部连通，用于对所述冷却腔体内部进行抽气。
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