中微半导体设备(上海)股份有限公司倪图强获国家专利权
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龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利半导体处理设备及其直流电压信号控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119182310B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411629639.6，技术领域涉及：H02M9/02；该发明授权半导体处理设备及其直流电压信号控制系统是由倪图强;卢明;李博睿设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体处理设备及其直流电压信号控制系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种半导体处理设备及其直流电压信号控制系统。该系统中控制第一信号生成模块和第二信号生成模块独立工作且开启状态互斥，获取直流电能来生成在时域上不重叠的第一直流电压信号与第二直流电压信号，提供给半导体处理设备用以形成偏置电压，对等离子体中带电粒子的加速过程进行控制。本发明可以简化系统结构，实现快速响应的开关控制，并能防止电路短路，提高系统运行的安全性和稳定性，还可以增强信号调控的灵活性，对脉冲波形进行针对性的优化，提升半导体加工的工艺性能。
本发明授权半导体处理设备及其直流电压信号控制系统在权利要求书中公布了：1.一种直流电压信号控制系统，其特征在于，包含： 电源模块，用于提供直流电能； 第一信号生成模块，处在开启状态时，用于获取直流电能并生成第一直流电压信号； 第二信号生成模块，处在开启状态时，用于获取直流电能并生成第二直流电压信号； 总控模块，与第一信号生成模块、第二信号生成模块分别耦合；所述总控模块提供的控制信号，包含用于使第一信号生成模块和第二信号生成模块的开关情况互斥的指令，使生成的第一直流电压信号与第二直流电压信号在时域上不重叠； 其中，所述第一信号生成模块、第二信号生成模块独立工作；所述第一直流电压信号的参数、第二直流电压信号的参数可独立调控，所述参数包含波形、幅度、宽度和频率；所述第一信号生成模块和第二信号生成模块的开启状态互斥，且所述第一信号生成模块和第二信号生成模块的关闭状态互斥；所述直流电压信号控制系统向半导体处理设备的基座内的偏置电极提供第一直流电压信号与第二直流电压信号作为偏置电压。
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