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龙图腾网获悉苏州清研半导体科技有限公司申请的专利一种合成碳化硅粉料系统用压力控制装置的保护装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223337059U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422784702.5，技术领域涉及：B01D50/20；该实用新型一种合成碳化硅粉料系统用压力控制装置的保护装置是由石林;杨倩倩;陈明设计研发完成，并于2024-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种合成碳化硅粉料系统用压力控制装置的保护装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及碳化硅粉料合成技术领域，一种合成碳化硅粉料系统用压力控制装置的保护装置，包括腔室，设置在腔室的内部并靠近腔室顶部位置处的过滤片，设置在腔室的上方且延伸到腔室内部的进气管路、出气管路；所述过滤片与所述腔室的上端面或底面相平行；所述进气管路延伸到过滤片的下方；所述出气管路延伸到过滤片的上方。该保护装置能够对沉积腔室内排出的尾气进行冷凝、沉积、过滤处理，使尾气中夹杂的甲基三氯硅烷、硅粉、碳粉、碳化硅粉等物质沉积在腔室中，避免沉积腔室内排出的尾气直接进出到压力控制装置中对其造成冲击、腐蚀；解决了现有技术中存在的尾气中夹杂着的物质对尾气管路以及压力控制装置造成冲蚀、破坏的问题。

本实用新型一种合成碳化硅粉料系统用压力控制装置的保护装置在权利要求书中公布了：1.一种合成碳化硅粉料系统用压力控制装置的保护装置，其特征在于，包括腔室（1），设置在腔室（1）的内部并靠近腔室（1）顶部位置处的过滤片（2），设置在腔室（1）的上方且延伸到腔室（1）内部的进气管路（3）、出气管路（4）；所述过滤片（2）与所述腔室（1）的上端面或底面相平行；所述进气管路（3）延伸到过滤片（2）的下方；所述出气管路（4）延伸到过滤片（2）的上方；所述进气管路（3）包括同轴设置的进气管（31）、第一冷却水管（32）；所述第一冷却水管（32）设置在所述进气管（31）的外侧； 所述第一冷却水管（32）的上端设置有第一进水口（33），下端设置有第一出水口（34）； 所述出气管路（4）包括同轴设置出气管（41）、第二冷却水管（42）；所述第二冷却水管（42）设置在所述出气管（41）的外侧；所述第二冷却水管（42）的上端设置有第二出水口（44），下端设置有第二进水口（43）；所述第一出水口（34）与所述第二进水口（43）通过水流管路相连通。

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