江苏科麦特科技发展有限公司杨佳奇获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏科麦特科技发展有限公司申请的专利极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119376178B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411642565.X，技术领域涉及：G03F1/62；该发明授权极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法是由杨佳奇;刘敏;顾向红;吴志俊;邹婷婷;谢磊;虞家桢设计研发完成，并于2024-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法，包括以下步骤：制备陶瓷框架；制备有机氟聚合物薄膜，测试均匀度；粘合陶瓷框架与有机氟聚合物薄膜；于有机氟聚合物薄膜表面沉积催化剂；石墨烯碳纳米管复合薄膜成型；石墨烯碳纳米管复合薄膜减薄；陶瓷框架下端粘接耐高温橡胶缓冲层；测试强度与气密性。相较于传统方法，本方法制备厚度均匀的大面积薄膜方法简单，且不需要对8～15nm厚的碳纳米管膜进行操作，避免膜破损，成品率高。本发明所制备的掩模防尘系统在波长13.5nm紫外光照射下，透光率为90％以上。相较于传统硝化纤维素、有机氟树脂和多晶硅薄膜，透光率更高，掩模系统成像更清晰。
本发明授权极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法在权利要求书中公布了：1.极紫外光刻用掩模防尘系统的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 制备陶瓷框架； 制备有机氟聚合物薄膜，测试均匀度； 粘合陶瓷框架与有机氟聚合物薄膜； 于有机氟聚合物薄膜表面沉积催化剂；所述催化剂溶液的制备方法包括以下步骤： 依次添加以下重量份的组分：1份含氟有机酸铁，100~500份水，0.5~2份含氟乳化剂，0.1~1份含氟流平剂，0.1~1份含氟润湿剂，0.1~1份含氟雾化剂； 石墨烯碳纳米管复合薄膜成型；所述石墨烯碳纳米管复合薄膜成型的步骤包括： 表面沉积催化剂的有机氟聚合物薄膜放入炉腔内，开启抽真空，维持真空度为10~100Pa； 开启温度程式：1~100毫秒内炉内温度由室温升至1500~3000℃，持续1~20秒； 以10~100℃min的降温速率降温至室温； 石墨烯碳纳米管复合薄膜减薄； 陶瓷框架下端粘接耐高温橡胶缓冲层； 测试强度与气密性。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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