成都路维光电有限公司周荣梵获国家专利权
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龙图腾网获悉成都路维光电有限公司申请的专利一种掩膜版镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223342800U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422844626.2,技术领域涉及:C23C14/26;该实用新型一种掩膜版镀膜装置是由周荣梵设计研发完成,并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩膜版镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于掩膜版制造技术领域,具体公开了一种掩膜版镀膜装置,包括主体底座、箱体、治具和蒸发加热单元,所述箱体位于所述主体底座顶端,所述治具位于所述箱体内;所述蒸发加热单元安装在所述箱体内,所述蒸发加热单元上设有固态的AF药丸,所述蒸发加热单元能够使AF药丸受热蒸发为蒸汽后镀膜到掩膜版上;磁控溅射装置的溅射端位于箱体内部。本实用新型将磁控溅射装置和AF镀膜的结构集成在箱体上,从而能够在本方案一种掩膜版镀膜装置上同时实现磁控溅射镀膜和AF镀膜,进而有效的提高了操作效率。
本实用新型一种掩膜版镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种掩膜版镀膜装置,其特征在于,包括主体底座、箱体、治具和蒸发加热单元,所述箱体位于所述主体底座顶端,所述治具位于所述箱体内; 所述蒸发加热单元安装在所述箱体内,所述蒸发加热单元上设有固态的AF药丸,所述蒸发加热单元能够使AF药丸受热蒸发为蒸汽后镀膜到掩膜版上;磁控溅射装置的溅射端位于箱体内部。
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