上海聚跃检测技术有限公司余夕霞获国家专利权
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龙图腾网获悉上海聚跃检测技术有限公司申请的专利MEMS分离辅助装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223342437U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422937914.2，技术领域涉及：B81C1/00；该实用新型MEMS分离辅助装置是由余夕霞;崔志鹏设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS分离辅助装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种MEMS分离辅助装置，包括可被操作地相互抵紧或者远离的第一压板和第二压板，所述第一压板和第二压板相对的面均设置有缓冲层，所述缓冲层相对的面均安装有粘接层；其中，当所述第一压板和第二压板被施加相互抵紧的压力时，所述缓冲层可产生弹性形变，以对夹持于所述粘接层之间的MEMS提供均匀的压力。本实用新型的MEMS分离辅助装置能够辅助完成MEMS基底与面层的精确分离。缓冲层可通过发生弹性形变对粘接层之间的MEMS施加均匀的压力，确保MEMS两面与粘接层充分接触；粘接层可使MEMS基底与面层分离。本实用新型的MEMS分离辅助装置能够确保MEMS与粘接层之间粘接的均匀性，以保证分离后面层结构的完整性。
本实用新型MEMS分离辅助装置在权利要求书中公布了：1.一种MEMS分离辅助装置，其特征在于，包括可被操作地相互抵紧或者远离的第一压板1和第二压板2，所述第一压板1和第二压板2相对的面均设置有缓冲层3，所述缓冲层3相对的面均安装有粘接层4； 其中，当所述第一压板1和第二压板2被施加相互抵紧的压力时，所述缓冲层3可产生弹性形变，以对夹持于所述粘接层4之间的MEMS提供均匀的压力。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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