上海交通大学刘武获国家专利权
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龙图腾网获悉上海交通大学申请的专利具有惯性力补偿结构的谐振型流场传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119689019B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-09-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411879778.4，技术领域涉及：G01P5/08；该发明授权具有惯性力补偿结构的谐振型流场传感器及其制备方法是由刘武;吕乐洋;傅义航;赵浩文设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有惯性力补偿结构的谐振型流场传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请提供一种具有惯性力补偿结构的谐振型流场传感器，包括：基底；双端固定音叉，固定在基底的中部；纤毛支撑结构，悬空设置在基底上，位于双端固定音叉的一端；梳齿电容，设置在基底上，位于双端固定音叉的两侧；纤毛，设置在纤毛支撑结构上；微杠杆，一端与纤毛支撑结构连接，另一端与双端固定音叉的一端连接；惯性力补偿结构，悬空设置在基底上，相对于双端固定音叉对称设置，惯性力补偿结构与双端固定音叉的一端连接，位于微杠杆与双端固定音叉之间。本申请通过传感器上的纤毛捕捉空气流场变化，通过电容检测谐振频率，可获得流场流速，惯性力补偿结构可以补偿惯性力对输出结果的干扰，使传感器在受惯性力干扰时仍可输出稳定的流场流速。
本发明授权具有惯性力补偿结构的谐振型流场传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有惯性力补偿结构的谐振型流场传感器，其特征在于，包括：基底； 双端固定音叉，固定在所述基底的中部； 纤毛支撑结构，悬空设置在所述基底上，位于所述双端固定音叉的一端； 梳齿电容，设置在所述基底上，位于所述双端固定音叉的两侧； 纤毛，设置在所述纤毛支撑结构上； 微杠杆，一端与所述纤毛支撑结构连接，另一端与所述双端固定音叉的一端连接； 惯性力补偿结构，悬空设置在所述基底上，相对于所述双端固定音叉对称设置，所述惯性力补偿结构与所述双端固定音叉的一端连接，位于所述微杠杆与所述双端固定音叉的一端之间。
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